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金刚石膜制备及应用开发项目获重大进展

本报讯:由中非人工晶体研究院等单位承担、北京天地东方超硬材料股份公司具体实施的国家863  (本文共1页) 阅读全文>>

《智库时代》2019年33期
智库时代

金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展

金刚石膜以及类金刚石膜在光学元件的保护中有着重要的作用,金刚石膜以及类金刚石膜的特性决定了他们的使用方式,由于这两种膜的高硬度、低摩擦系数、高稳定性,所以在光...  (本文共2页) 阅读全文>>

《黑龙江科技信息》2015年03期
黑龙江科技信息

金刚石膜的高温氧化性能的研究

在CH4/H2气氛下,利用直流热阴极PCVD(Plasma chemical vapor deposition)设备制备的金...  (本文共1页) 阅读全文>>

《真空科学与技术学报》2012年10期
真空科学与技术学报

无支撑优质金刚石膜研制中的相关问题探讨

无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善。结合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的工艺研究结果,本文就沉积速率、晶面取向以及内应力的相关问题进行了初步探讨...  (本文共5页) 阅读全文>>

《南京航空航天大学学报》2007年03期
南京航空航天大学学报

大尺寸金刚石膜生长中等离子体弧源的稳定性

保持等离子体弧源稳定性对于制备大尺寸平面金刚石膜极其重要,故从理论和实验两个方面对等离子体弧源稳定性进行了分析。研究表明,为了保持弧源的稳定,必须在生长过程中,保持稳定的电子温度和均匀的活性原子...  (本文共5页) 阅读全文>>

《金刚石与磨料磨具工程》2007年04期
金刚石与磨料磨具工程

DC Arc Plasma Jet CVD自支撑金刚石膜表面形貌的研究

本文采用30kW级直流电弧等离子体喷射法沉积自支撑金刚石膜,研究了大进气量条件下不同的甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌及晶面取向的影响,当甲烷浓度达到一定程度时,出现纳米二次晶的形核,晶粒细化,微米金刚石转变成为纳米金刚石。同时不同...  (本文共4页) 阅读全文>>