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我市全面启动MEMS研发和产业化工作

本报讯(记者 卫新华)我市瞄准世界尖端技术,充分发挥得天独厚的技术优势,全面启动微电子机械系  (本文共1页) 阅读全文>>

权威出处: 重庆日报2001-04-02
《电子世界》2016年23期
电子世界

硅基微机械加工技术

就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一。这种技术的应...  (本文共1页) 阅读全文>>

《科学中国人》2015年35期
科学中国人

关于微电子机械系统的力学问题分析

在微电子机械系统当中,存在着许多力学问题,对这些力学问题的分析和研究工作是不可忽视的。本文就微构件材料的基...  (本文共1页) 阅读全文>>

《中国科技信息》2014年16期
中国科技信息

微电子机械系统技术与具体应用

近年来,微电子机械系统这种新兴的技术迅速发展,已经逐渐影响到人们生活的各个领域。该技术以硅为加工材料,其制品具有集成化、微型化等特点...  (本文共2页) 阅读全文>>

《电子技术与软件工程》2014年20期
电子技术与软件工程

微电子机械系统技术与应用领域研究

微电子机械系统技术是一个新兴的应用的技术,其以硅为加工材料将制作对象微型化。腐蚀技术牺牲层技术等技术或复合技术是其所使用的基础技...  (本文共1页) 阅读全文>>

《科技致富向导》2013年33期
科技致富向导

微电子机械系统及其加工工艺简述

作为一种新兴的技术,微电子机械技术蕴含着多学科的知识,在机械的制造与加工方面发挥了重要的作用。本文...  (本文共1页) 阅读全文>>