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基于PIC16C72A的开关模式电池放电器

$T高奇晶圆PIC单片机技术专栏之十八$E$$本文介绍用PIC16C72A的A/D和CCP模块设计开关模  (本文共4页) 阅读全文>>

权威出处: 电子报2003-12-07
中国科学技术大学
中国科学技术大学

用于无掩膜加工的介质阻挡微放电器阵列的制作及性能表征

在半导体制造和微机电系统领域,等离子体技术是一种不可或缺的加工手段。为了实现任意图形的无掩膜加工,课题组之前提出利用倒金字塔微空心阴极放电器阵列,来实现对样品高精度、高效率的无掩膜扫描加工。该微放电器阵列采用的是电极-绝缘层-电极的三明治结构,在直流电场的激励下,倒金字塔空心微阴极内产生的等离子体和电极层直接接触,由于等离子体中的重离子对电极层的物理轰击作用以及热阻效应,微放电器的电极层很容易损坏而使整个器件失效,微放电器的寿命很难得以提高。为了解决直流微空心阴极放电器阵列寿命短的问题,本文通过在微空心阴极放电器阵列的上下金属电极上沉积一层氮化硅膜以保护电极层,采用交流激励的介质阻挡放电形式,有效阻止辉光放电向弧光的转变,减小热效应对器件的破坏,进而提高微放电器器的寿命,为后续无掩膜加工奠定良好的基础。论文的主要内容如下:采用COMSOL对所设计的倒金字塔介质阻挡微放电器进行二维等离子体仿真,通过仿真研究,得到了倒金字塔内电子密...  (本文共76页) 本文目录 | 阅读全文>>

《电力技术》1984年09期
电力技术

对通信线上安装放电器使用情况的调查

一、放电器国内外使用情况随着电力建设的日益发展,高压电力线路和通信线路不可避免地会出现相互接近或交叉跨越。高压电力线路在...  (本文共5页) 阅读全文>>

《家庭电子》1996年11期
家庭电子

自动充放电器

本文介绍的自动充放电器是专为大哥大9900型电池组设计的。其...  (本文共1页) 阅读全文>>

《电力建设》1981年03期
电力建设

通信线路安装陶瓷放电器防护电力线电磁感应的情况调查

一、前言云南省电力系统现在已建成110千伏线路53条共1920公里,220千伏线路4条共684公里。由于云南地区地势起伏较大、地...  (本文共8页) 阅读全文>>

《电信技术资料》1973年03期
电信技术资料

三电极放电器的高速保护——英国M-O VALVE有限公司产品介绍

这是英国工业技术展览会的资料,虽然...  (本文共6页) 阅读全文>>