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深耕IC光刻胶产品 完备两岸三地布局

【梁立明/DigiTimes专稿】永光化学投入IC光刻胶研发多年,总经理陈伟望表示,在产品方  (本文共1页) 阅读全文>>

《新材料产业》2018年12期
新材料产业

光刻胶材料发展状况及下一代光刻技术对图形化材料的挑战

一、背景光刻胶是制造集成电路的关键材料,其性能直接影响到集成电路芯片上的集成度、运行速度及功耗等性能。在摩尔定律的推动下,集...  (本文共5页) 阅读全文>>

《广东经济》2019年09期
广东经济

广东光刻胶产业发展现状及应对策略

光刻胶是电子化学品中技术壁垒最高的材料,具有纯度要求高、生产工艺复杂、前期投资大、技术积累期长等特征,属于资本技术双密集型产业(1)。光刻胶主要应用于光电信息产业的微细图形线路...  (本文共6页) 阅读全文>>

《新材料产业》2019年10期
新材料产业

国内外集成电路光刻胶研究进展

光刻胶又名"光致抗蚀剂",是一种在紫外光等光照或辐射下,其溶解度会发生变化的薄膜材料。光刻胶的配方较为复杂,通常由增感剂、溶剂、感光...  (本文共4页) 阅读全文>>

《微电子学》2017年05期
微电子学

微波用于抑制光刻胶纳米线条倒伏的研究

针对半导体工艺中去离子水的表面张力导致显影干燥过程中光刻胶纳米线条容易发生倒伏的问题,采用了微波干燥方法,以抑制光刻胶纳米线条倒伏。利用微波的热效应和非热效...  (本文共6页) 阅读全文>>

《股市动态分析》2017年41期
股市动态分析

光刻胶:国产化势不可挡

光刻胶是在微电子制造业中实现精细线路及图形加工工艺的核心材料。光刻技术利用光刻胶在辐射前后溶解度的差异来转移图案,不同光刻胶及曝光光源的组合...  (本文共2页) 阅读全文>>