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微型机电系统

MEMS是一项有40年历史的技术,在上世纪九十年代,MEMS装置在汽车的气囊传感器和气压传感器、喷墨打印头和血  (本文共1页) 阅读全文>>

《世界科技研究与发展》2003年04期
世界科技研究与发展

法国加快研究为生物技术服务的微型机电系统

按照传统的定义 ,微型机电系统 (MEMS)一般都配备有运动部件 ,在小型化中需要遵守多种标准 ,比如 ,如何用传...  (本文共1页) 阅读全文>>

《系统工程与电子技术》1940年90期
系统工程与电子技术

微型机电系统的军事应用

微型机电系统的军事应用微型机电系统(MEMS)是体积非常小、重量非常轻的完全功能化器件。它以微米为度量...  (本文共1页) 阅读全文>>

《测控技术》1999年01期
测控技术

微型机电系统技术及其21世纪应用展望

当前人们在向宏观世界不断进军的同时,也在向微观世界发起冲击。人们不断地致力于微型装置的研究制造与开发利用。微米/纳米技术(micro/nanotechnol...  (本文共5页) 阅读全文>>

西北工业大学
西北工业大学

基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究

MEMS是新兴的技术领域,具有广阔的应用前景,世界各国都将其作为研究和发展的重点。但目前MEMS的发展面临着产品研发周期长、成本高等问题,研究表明MEMS的设计水平落后于制造水平是问题的原因所在。因此,人们通过寻求科学、系统、规范的设计方法和设计工具以提高MEMS的设计效率和设计能力,以求降低MEMS产品的成本,推进MEMS的产业化。目前,对MEMS设计方法及设计工具的研究已成为当前MEMS研究领域的重点和热点之一。本文针对MEMS多学科交叉、多影响因素等设计特点,结合机电工程领域集成设计、快速原型设计、并行工程等先进的设计思想,提出了基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法。建立了该方法的结构框架和设计流程,并对其实现的关键技术进行了深入研究,同时结合梳状驱动音叉振动式微陀螺的样件设计,对部分关键技术进行了研究和实践,验证了设计流程的技术可行性。首先,针对MEMS系统级设计的多学科交叉的特点,提出了以集中参数建模方法解决...  (本文共89页) 本文目录 | 阅读全文>>

《光学精密工程》1980年10期
光学精密工程

微米纳米技术及微型机电系统

微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米...  (本文共7页) 阅读全文>>