分享到:

第15届电磁场计算国际学术会议开幕

本报沈阳6月27日电 当你乘飞机旅行时,你必须把手机关掉,目的是为防止电磁波干扰飞机的导航系统,而计算电磁  (本文共1页) 阅读全文>>

权威出处: 科技日报2005-06-28
《武汉水利电力学院学报》1989年05期
武汉水利电力学院学报

等效边界原理及在电磁场计算中的应用

本文提出了一个解算电磁场的新方法,这一方法基于运用数值计算寻求任意边界面上位函数与通量函数之间的关系,界面以外场的影响可以运用上述关...  (本文共6页) 阅读全文>>

大连理工大学
大连理工大学

CCP腔室电磁场计算及低频崩溃问题的研究

等离子体腔室放电广泛应用于IC制造中的薄膜沉积、刻蚀工艺中,是现代工艺装备中的重要部件。等离子体腔室中的电磁场的均匀性直接影响硅晶圆的品质等。因此等离子体腔室中的电磁场分析对IC装备的研究、设计具有重要的意义。低频容性耦合等离子体腔室的激励频率较低、腔室尺寸较小,此时,腔室的尺寸远小于腔室中的电磁波波长。根据这个特点,本文对一种典型的PECVD腔室建立其对应的二维简化静电腔室模型。文中通过与三维静电腔室模型在计算精度和计算时长上进行对比,验证简化腔室模型的合理性。容性耦合等离子体腔室的尺寸较大并且激励频率较高时,腔室的尺寸与腔室中电磁波的波长相当,传统的静电理论不能很好的解决容性耦合等离子腔室中的电磁场的计算问题。本文利用全Maxwell方程对容性耦合等离子体腔室中的电磁场进行计算,研究容性耦合等离子体腔室中等离子体浓度以及驱动频率对腔室中电场的功率沉积均匀性的影响。传统的棱边单元法求解电磁场问题时,当激励频率较低时,会导致求解...  (本文共58页) 本文目录 | 阅读全文>>

《国际学术动态》1997年01期
国际学术动态

电磁场计算·电磁场教学

第10届COMPUMAG电磁场计算国际学术会议于1995年7月10日至13日在德国柏林举行。COMPUMAG电磁场计算会议是本领域层次最高、影响最大的全球性系列国际学术会议。它涉及到与高频和低频电磁场数值计算相关的许多领域,主要包括静态场、时变场、波传播、优化设计、材料的电磁特性、耦合问题、数值方法、软件设计和应用研究等。会议每二年举行一次。本届会议由柏林工业大学承办。...  (本文共1页) 阅读全文>>

《山西机械》1999年S1期
山西机械

面向工程的永磁电机电磁场计算软件

解决了永磁电机电磁场计算的一些关键技术, 用面向对象的程序设计方法开发了实...  (本文共3页) 阅读全文>>

《微波学报》1994年02期
微波学报

微波集成电路的电磁场计算

微波CAD是开发MIC特别是开发MMIC必不可少的手段.虽然已有多种微波CAD软件,包括计算电磁场的方法,但微波工程师只有对电磁场计算方法有较深入的了解,才能正确而有效地使用软件.对从事微波研究的工作者,测更应对电磁场计...  (本文共1页) 阅读全文>>