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成都理工大学:打造先进金刚石薄膜实验室

本报讯 2002年下半年,成都理工大学建成了金刚石薄膜实验室。该实验室的建成直接得益于从中国科学院长沙  (本文共1页) 阅读全文>>

《江汉石油科技》2010年02期
江汉石油科技

浅谈CVD金刚石薄膜技术

简单介绍了CVD金刚石薄膜技术发展、金刚石薄膜的制备有物理气相沉积法(PVC)和化学气相沉积法(CVD)两类。通...  (本文共3页) 阅读全文>>

《国际学术动态》1996年07期
国际学术动态

人们努力开发金刚石薄膜和其他功能材料

笔者于1995年8月在美国参加了第3届金刚石薄膜及相关材料应用会议,并作为国际10个实验室联合测试的参加者参加了金刚石薄膜热...  (本文共1页) 阅读全文>>

《金刚石与磨料磨具工程》2019年04期
金刚石与磨料磨具工程

硼及其协同掺杂金刚石薄膜的研究

在金刚石中掺入杂质元素会在保留其原有优良性能的基础上获得其他性能,如掺入硼元素可以使金刚石成为P型半导体;协同掺杂其他元素...  (本文共8页) 阅读全文>>

《半导体技术》2018年01期
半导体技术

HFCVD金刚石薄膜的热场模拟及实验

基体温度是影响金刚石薄膜生长质量的重要因素之一。基于有限元分析法,通过ANSYS CFX软件对基体温度场进行模拟仿真,得到基体表面温度场的分布,并分别讨论了热丝-基体距离、热丝间距、水冷系数等参数对系统温度场均匀性和一致性的影响。经仿真优...  (本文共6页) 阅读全文>>

《硬质合金》2017年06期
硬质合金

碳化硅衬底沉积高取向金刚石薄膜

采用直流辉光放电等离子体设备在单晶碳化硅表面沉积高晶取向金刚石薄膜,研究了预处理方法、基片温度以及甲烷浓度(甲烷与氢气的体积比)对金刚石薄膜晶粒取向的影响。用SEM、Raman等测试方法对金刚石薄膜进行表征。...  (本文共6页) 阅读全文>>