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TiO_2薄膜的结构、特性及生长模式的研究

作为特殊形态材料的薄膜,具有特殊的光、机、电、磁等性能,已经成为微电子学、光电子学、磁电子学、刀具超硬化、传感器和太阳能利用等新型应用领域的材料基础。TiO_2作为一种极具前景的介质材料被应用到薄膜技术中来,引起了国内外研究者的极大兴趣。作为光学膜,TiO_2薄膜在可见光区透射率高,折射率大,化学稳定性高、强度大、硬度高,是非常重要的光学膜,已被广泛地应用于抗反射涂层、干涉滤波片、电致变色窗和薄膜光波导。作为电学膜,TiO_2薄膜的绝缘性能好,可作为大规模集成电路的保护层。TiO_2的介电常数很高,可用于半导体器件MEMS、MOS等的栅介质。作为气敏膜,用它制备的传感器可用于汽车尾气及大气中氧含量的检测,氢气的泄露检测等,而且使用寿命长,不易中毒。作为光催化膜,可以被广泛的应用到光催化洁净和水、气的处理,杀菌和抗癌方面。随着薄膜科学与技术的发展,各种薄膜制备方法得到了迅速发展,传统的所谓镀膜,已从单一的真空蒸发发展到包括蒸镀、离  (本文共140页) 本文目录 | 阅读全文>>

电子科技大学
电子科技大学

介电氧化物薄膜在GaN半导体上的外延生长与性能研究

近年来,电子信息系统为了缩小体积、增强功能,正快速向微型化以及单片集成化方向发展,对电子薄膜与器件提出了尺寸小型化和功能集成化的要求。将以极化为特征、具有丰富功能特性的介电氧化物材料通过外延薄膜的方式,与GaN半导体生长在一起形成介电氧化物/GaN集成薄膜,为高性能电子器件的研制提供了新的思路,将推动电子系统单片集成化的进一步发展。然而,在介电氧化物/GaN集成薄膜的研制中,两类材料物理、化学性质的巨大差异导致了严重的相容性生长问题。由于理论研究和实验条件的限制,与之相关的很多物理现象和机理尚未深入研究,尤其是介电氧化物/GaN异质外延机理以及薄膜微结构控制等方面研究不足,阻碍了介电氧化物/GaN集成薄膜与器件的发展。本论文采用激光分子束外延技术(LMBE),以典型的SrTiO_3(STO)介电氧化物薄膜为对象,研究氧化物/GaN异质外延的生长机制和界面控制方法。通过特殊设计的纳米厚度缓冲层材料,对界面加以控制,优化STO薄膜的...  (本文共151页) 本文目录 | 阅读全文>>

《工程塑料应用》2020年03期
工程塑料应用

圆形薄膜预应力测量

通过测量薄膜在均匀载荷下的中心挠度变化可以推算出薄膜的预应力,达到无损测量的目的,为了验证这个方法的可行性,运用Von Karman’s方程计算薄膜的挠度与预应力以及均匀载荷的对应关系,并运用有限元软件建立模型对薄膜进行建...  (本文共6页) 阅读全文>>

《化工新型材料》2017年03期
化工新型材料

铁酸铋薄膜的电学特性及掺杂影响分析

利用溶胶-凝胶法在氧化铟锡(ITO)衬底上制备了多铁性铁酸铋薄膜,发现这种方法制备的薄膜具有典型的钙钛矿晶体结构,并表现出较好的介电性能。薄膜的漏电和铁...  (本文共3页) 阅读全文>>

《能源技术》1988年03期
能源技术

新式保温薄膜

这种薄膜是真空喷涂上一层金属的带粘性的聚脂薄膜。这种薄膜贴在窗户上,能起相当于双层玻...  (本文共1页) 阅读全文>>

《力学季刊》2017年02期
力学季刊

有限尺寸硬薄膜/软基底的屈曲分析

附着在柔软基体之上的硬薄膜,在受轴向压缩超过临界值时会发生屈曲,在表面产生褶皱.根据Kirchhoff-Love板理论和最小势能原理,分析了有限尺寸薄膜/无限大基底结构的几何尺寸及材料常数对屈曲行为的影响.结果表明临界屈曲应变随薄膜泊松比...  (本文共10页) 阅读全文>>

《真空》2015年06期
真空

国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15

薄膜领域最具影响力的国际会议"Thin Films 2016"将于2016年7月12号-15号在新加坡召开。此次国际会议是国际薄膜学会主办的薄膜及涂层领域的又一次...  (本文共1页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》2015年06期