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旋转体视显微检测理论及装置研究

精密测量技术是工业发展的基础和先决条件,机械加工精度的提高与测量技术的发展水平密切相关,MEMS(Micro Electro-Mechanical System,微机电系统)构件的精密测量同样也是提高MSMS加工质量的关键问题。在许多应用中(如微制造中的视觉监控和实时测量,微操作系统中的视觉伺服等),获取微对象相关的几何信息(三维尺寸和空间位置等)十分重要。但是微机械的尺寸十分微小,制造、组装等操作或对其进行检测都十分不便。本文研究内容隶属于国家863高技术研究发展计划专项基金资助项目“面向微流控芯片的微模具制造装备研究”(2002AA421150)。本研究以微模具为研究对象,以检测微流控芯片模具的三维外型尺寸为目标,将旋转体视三维测量技术引入微机械测量领域,研制面向微流控芯片模具的三维显微检测装置,深入研究旋转体视显微检测技术、显微视觉空间畸变场理论、显微光学系统标定等关键理论和技术。显微检测实例验证了理论研究及其指导下的显微  (本文共101页) 本文目录 | 阅读全文>>

《少儿科技》2017年Z1期
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《广西教育》2017年13期
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《实验室研究与探索》2009年05期
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《大连大学学报》2000年02期
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