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一种可用于辐照剂量计的新型器件

应用高纯氮携带液氧蒸气作为氧源的热氧化技术和 Si H4- NH3体系 L PCVD技术 ,制作对辐照吸收有明显响应的 MNOS器件 ,在 10 3~ 10 5 Gys剂量范  (本文共4页) 阅读全文>>

《暨南大学学报(自然科学与医学版)》1991年03期
暨南大学学报(自然科学与医学版)

MNOS结构保留特性的研究

通过浅在储陷阱的电荷泄漏模型,对MNOS结构的保留特性进行研究。根据模型推导出的理论公式满意地描述了包括温度效应和栅压效应在内的...  (本文共6页) 阅读全文>>