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一种新的亚微米制造技术

引言 近几年来,半导体制作研究的最活跃领域之一是精细线条的产生和应用。特别对用常规光刻法不能达到而又最重要的是小于1微米的线宽更感兴趣。已研制出若干技术以产生如此精细的线条。其中电子束和万射线光刻也许是最重要和多方面通用的了。这些系统能产生出高质量的精细线条,但由于成本昂贵,除了最大的研究室和制造厂家外,一般能力都达不到。因此,提出了一些制造亚微米线条的其它方法。最值得注意的是掩蔽和选择腐蚀或钻蚀法〔l〕、〔幻、〔3〕。这些技术能得到亚微米线条,但是工艺过程的控制极端困难,而且产量低和线条质量往往很差。本文提出制作亚微米尺寸线条的一种新技术,它避免了一些难题。 图1略述了基本的精细线条工艺过程。图1(a)表示衬底上要作图的层(此处为铬),在其顶上是金属层(此处为铜)。图1(b)表示已用常规光刻法在铜层上作出图案并保留光刻胶。图1(c)表示第二种金属(此处为金)镀到铜层的暴露边缘。只要控制电镀电压和条件,就可以选择性地只镀到铜层上...  (本文共5页) 阅读全文>>

《光学机械》1975年03期
光学机械

8—13微米红外光学材料—现代的发展与远景

1。绪吉‘二J 对温度接近背景的大地物体成象来说,主要因素是物体及其背景的光谱发射之间的差异。接近300”K的一些物体的这个参数的光谱曲线最高点在8微米,并且将这些曲线与最高点在10微米的黑体曲线在一起来看,则4一20微米区对探测接近室温的目标来说是最佳的川。在这个范围内大气的透射是主要的,并且认识到,对相对湿度为55%,横通路的长度1海涅来说,大气透射要大于20%的最有效的窗口是在8和13.5微米之间。如果所有这些因素与探测器灵敏度的背景极限在一起考虑,则8一13微米范围为探钡0接近室温目标提供最佳的灵敏度是显而易见的。 在近几年8一13微米范围探测器改进利用率及性能刺激红外成象系统的发展达到需要制造折射元件的光学材料的程度。在文献中现有一些极好的材料评述比31,但是这些文件现在已超过十年并且没有列入所有要求的全部参数。特别是没有关于吸收系数的数据,这是大功率CO:激光器使用者的主要要求。本文叙述比较有用材料的发展状态及估计探...  (本文共10页) 阅读全文>>

《玻璃钢》1982年02期
玻璃钢

400孔中碱13微米纤维生产工艺及应用的研究

国外玻璃钢用玻璃纤维的直径,五十年代时为9~10微米,后来发展为13~18微米,最近19~22微米的也已有采用川。日前全世界玻纤产量中,粗纤维产量约占70%,并且手糊玻璃钢等用纤维的直径也多为13微米以上。其目的就是为了降低以树脂为墓材,玻璃纤维含量为50%左右的玻璃钢制品的成本。 我国玻纤工业建立以来,一直沿着细纱薄布的道路发展。对粗纱无纺(少纺)厚布缺少应用研究。因此我国粗纱厚布生产的发展速度极为缓慢,以致影响到我国玻纤工业的发展。[l前我国虽有少数玻纤厂已有11微米纤维问世,但其开台数及产量仍居少数。 近年来国内外在玻纤直径对玻璃钢力学性能的影响方面做了大量的研究工作,例如旧本旭硝子玻璃纤维公司进行了7一13微米纤维对玻确钢力学性能影响的试验〔2〕,认为纤维直径在7~13微米范围内,对玻璃钢的强度没有影响。北京玻璃钢研究所进行了不同直径纤维对NOL环的主要力学性能影响的试验(3),得出纤维直径在11~14.3微米范围内对N...  (本文共5页) 阅读全文>>

《中国激光》1983年12期
中国激光

倍频激光薄膜——1.06微米高透与0.53微米高反膜

随着激光倍频技术的发展,对反射膜的 而对 0.53微米的反射率很高,R99.6谛。要求也提高了,它要求对基频和倍频光都有一定的光谱特性。计 算 1.06微米高透与0石3微米高反膜,在倍频技术中应用比较广泛。虽然有关这类薄膜 四分之一周期膜系有一个重要特点:反的报导较多,但据我们粗略的分析认为,大部 射相位是变化的一。在截止带的两侧,相位分文章都是以长波通(LWF)作为基础,而后 随着波长不同而变化。因此,通带的光谱曲修正通带的光谱性能。显然,这在制备工艺 线是波动的,106微米波长正位于通带上。上较麻烦,而且1.06微米波长的透过率起伏 计算结果表明;如果在多层膜的外侧,即在也较大。空气与多层膜之间增加一层或几层适当薄 _;,。*、。。_。。。。。__。。膜,会大大改善工.06微米波长的光谱透射性 我们在本文介绍一种较简便的方法 即”’”“““““”-’””””’“““””““”“”’” 。能,而对截止带中心反射率的影响不大。于...  (本文共4页) 阅读全文>>

《求学》2018年11期
求学

顾健:指纹几乎磨平,只为练就“微米级”的触觉

【主题简述】20多年如一日的勤学苦练,造就了顾健那双精确无误的工匠之手。想想看,一锉刀下去,想锉多少锉多少,而且要精确到微米级别,这得需要一双怎样“精密”的手?顾健的手就能做到。从丝米级别到微米级别,他练了5年,然后从5微米到2微米(2微米只有头发丝的1/35)级别,他又练了10年。这个过程是极其枯燥的,除了热爱这项工作,更重要的就是有恒心和毅力了。在车间,先进的仪器设备已经应用在从生产到维修的几乎整个过程。然而,面对一些工艺难度高、技术性强的检测维修,机器也有“力所不及”的地方。在制造业中,电主轴维修是一大难题:买一根新的电主轴需要100多万元,委外维修费要20多万元,且维修后的质保期只有3个月。维修的技术难点在轴承中间的隔圈要达到2微米的精度。精度不够,将会降低轴承的使用寿命,导致轴承报废。在没有图纸、没有任何零配件的情况下,顾健带着团...  (本文共2页) 阅读全文>>

权威出处: 《求学》2018年11期
《绝缘材料》2017年08期
绝缘材料

氧化铝微米片/环氧树脂复合材料导热性能的研究

0引言近年来,随着电子集成技术高速发展,组装密度迅速提高,电子元件体积成千上万倍地缩小,电子仪器及设备向轻、薄、短、小等方向发展,导致电子元件的工作环境向高温移动,因此开发导热材料以降低电子元件的工作温度显得尤为重要[1-5]。聚合物因具有绝缘性、耐腐蚀等特点,且成本低,使其在电子器件封装中得到了广泛的应用。但是高分子聚合物本身的导热系数较低(一般低于0.3 W/(m·K))[6-7],限制了电子元件的有效散热。为提高其导热性能,将高导热系数的无机填料填充至聚合物中制备聚合物复合材料是最有效的方法。陶瓷填料因其具有绝缘性和稳定性等特点,得到了最为广泛的研究。已有研究表明[8-9],导热填料的类别、含量、形状、尺寸等因素对聚合物的导热系数具有重要的影响。其中,填料形貌被认为是影响复合材料导热系数最为重要的因素之一[10-11]。二维片状材料如石墨烯[12]、h-BN[13-15],因具有较高的长径比,是制备高导热聚合物复合材料最常...  (本文共6页) 阅读全文>>