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一种新型体硅谐振加速度计(英文)

设计了一种谐振加速度计 .这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏  (本文共6页) 阅读全文>>

《科学技术创新》2019年04期
科学技术创新

硅微谐振加速度计的研究现状分析及发展趋势探讨

从当前的国际科技发展形势来看,硅微谐振加速度计是一种十分具有潜力的高精度的MEMS惯性仪表。同时又因为硅微谐振加速度计具有体积相对比较小,而且消耗的功率很低,并且它的准数字输出和精度提升...  (本文共2页) 阅读全文>>

《中国惯性技术学报》2016年02期
中国惯性技术学报

高精度硅微谐振加速度计工程化设计与实现

硅微谐振加速度计因具有小体积优势和高精度潜力,成为硅微惯性传感器研制的热点之一。工程化设计是硅微谐振加速度计从原理样机向成熟产品转化过程中的关键步骤之一。在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从工程实用化设计角度出发,提出了一种高精度硅微谐振加速度计工程化设计...  (本文共6页) 阅读全文>>

《中国惯性技术学报》2015年03期
中国惯性技术学报

基于FPGA的高精度硅微谐振加速度计数据采集与参数补偿系统设计与实现

硅微谐振加速度计因具有小体积优势和高精度潜力,成为硅微惯性传感器研制的热点之一。频率信号的高精度采集和系统参数补偿是提高硅微谐振加速度计性能的重要手段之一。在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从双路差动频率信号的精确采集和系统误差参数补偿角度出发,分析了数据采集的原理,提出了一种高精度硅微谐振加速度计用数据采集与参...  (本文共5页) 阅读全文>>

《国外医学.耳鼻咽喉科学分册》1988年04期
国外医学.耳鼻咽喉科学分册

谐振加速度测试小儿前庭功能

作者采用电脑控制转椅系统对耳部检查正常,年龄在1个月至10岁的婴儿和儿童进行低频谐振加速度(HA...  (本文共1页) 阅读全文>>

中国航天科技集团公司第一研究院
中国航天科技集团公司第一研究院

硅基WLP谐振加速度计的研究

硅基谐振加速度计是一种具有高精度潜力的微机电惯性仪表,其基本原理是在轴向加速度的作用下谐振结构刚度的变化引起谐振子谐振频率的改变,通过检测频率变化测得输入加速度。硅基谐振加速度计具有微机电仪表可靠性高、寿命长、体积小和重量轻的优点,同时频率信号输出又使其具有理论高精度,因此成为微机电惯性仪表发展的重要方向之一。本文针对硅基谐振加速度计的结构设计及工艺、系统设计、数字测控电路等关键技术展开了研究,主要内容如下:研究了硅基谐振加速度计的工作机理,推导了力-频输出方程,建立了敏感结构的动力学模型并基于Simulink进行系统级建模及分析;对谐振子的驱动检测方式进行了分析,并比较两种驱动检测方式,确定了驱动检测结构方案。针对目前谐振式加速度计结构设计中的不足,提出了硅基谐振加速度计的双层结构设计方案,并利用ANSYS有限元分析软件对结构的主要模态进行了仿真分析,并进行了全量程仿真和温度仿真分析。研究了硅基谐振加速度计的圆片级封装工艺技术...  (本文共100页) 本文目录 | 阅读全文>>