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基底对TiN_xO_y太阳能选择性吸收薄膜性能的影响

采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。采  (本文共3页) 阅读全文>>