分享到:

Y—Ba—Cu—O超导薄膜溅射靶材的研制

1引言 自K·A·mnlle,和J·G砚dnorz在La6-:Ba:Cu。。。(卜,,氧化物陶瓷材料中发现35K超导体以来‘。,高温超导体的研究以前所未有的速度发展,相继发现了90K以上的YBco超导体卿,110K的Bi系超导体‘”和125K的TI系超导体乙。,T。的大幅度提高促使人们研究高Tc超导体薄膜的制备,以开发高温超导材料在红外探测器,磁强计,电子计算机等功能元件上的应用‘”,目前最理想的制备超导薄膜的技术是磁控溅射法,但是要想获得高质量的超导薄膜就必须高质量的超导靶材,靶材是磁控溅射法制备高Tc超导薄膜的关键工序,而采用通常的严格化学计量比Y、BaZcu刃,一‘制备的靶材做出的超导薄膜缺少钡和铜〔6),同时为保溅射膜的均匀性,又含有合适的钡和铜,并且具有优良的超导电性,在引用的衬底上能溅射到优质的高Tc超导薄膜成为必须解决的关键问题。2实验 将分析纯的YZo:;Baco:;Cuo按化学计量比精确称重后混合,研磨均匀,在...  (本文共3页) 阅读全文>>

《稀有金属》1993年04期
稀有金属

钇系超导薄膜进展

日本四家电子材料公司合办的超导技术实验室开发了一种改进忆系超导薄膜质量的新工艺。此工艺应用94.9 MHz高频波RF溅射法制备忆、钡和氧化铜薄层,从而堆垛成忆系超导薄膜。应用RF溅射可避免组份与表面形状的不均匀性。此法将RF溅射频率...  (本文共1页) 阅读全文>>

《制冷》1987年03期
制冷

超导薄膜话“隧道”

兔年,人类迎来了金光熠熠的高温超导新时代。 高温超导体刚问世,伴随出现了超导薄膜。这里有其缘故.首先,延伸性较差的氧化物陶瓷超导材料能够做成超导薄膜,本身就意味着这种制作工艺有了长足进展,其次,预示着在所有超导电技术的应用中,这种薄膜有最诱人的发展前景。那么,薄膜与“隧道”究竟有何妙联呢? 举世瞩目的衡广复线大瑶山隧道,曾为多少人所神往! 这里所述的并非交通、海底隧道和穿山隧道,而是物理学上的低温超导隧道,与之有截然不同的概念。 假如在你前进的道上横挡了一堵不甚高的墙(且把这堵墙视为物理学上的一个位能垒简称位垒),使你无路可循,怎么办?古典上曾有纵身一跃而过的“轻功”,小说《聊斋》中的唠山道士有“穿山透过”之本领,但这都是现实生活中的虚构故事。然而,物理学上确有其事。量子力学告诉我们.微观粒子确实有一种特殊的“穿山”本领一一隧道效应。只要这堵“墙”(位垒)很薄,能量不足的粒子也能达到彼侧,好像在“墙”内钻了一个隧道洞一样。这是因...  (本文共2页) 阅读全文>>

权威出处: 《制冷》1987年03期
《激光与光电子学进展》1988年08期
激光与光电子学进展

超导体能否代替光纤

对于长距离通讯,新发现的高温超导体能否比光纤提供更大的传输带宽,最近的实验证实了超导能传输皮秒级脉冲。在两个基本实验中,将皮秒脉冲输入超导薄膜中仅传输smm长度。对此有人相信,有人却比较谨慎。 这两个实验几乎同时发表。一个由罗切斯特大学和康乃耳大学联合小组报道;另一个由国际商用机器公司华特生中心小组发表。二者都采用忆、钡和铜的氧化物,这是目前在90~I000K范围内新的高温超导材料,通过与smm厚高温超导体的皮秒级脉冲未检测脉冲畸变及色散。这两个小组都有从事超短光脉冲方面的著名研究者。 然而,这两个实验细节有些差异,而在结果的外推上则截然不同。罗切斯特一康乃耳实验中使用的超导薄膜淀积在氧化错基底上,薄膜蚀刻成15户m宽smm长。用超短激光脉冲辐照光导材料产生脉冲宽度为10~15P...  (本文共2页) 阅读全文>>

《低温物理学报》1988年04期
低温物理学报

液氮温区Y-Ba-Cu-O超导薄膜的研究

一 己I 吉 、 √I 口 新的氧化物高丁。陶瓷材料发现以来L1-”,已有许多研究小组在致力于高丁。薄膜的制备【4“’.目前制备高丁。薄膜的方法一般有电子束蒸发、磁控溅射以及各种化学方法.在磁控溅射法采取烧结靶制备高丁,薄膜时一个重要的问题是靶的组分. 选择合适的靶材料组分对取得高丁,薄膜至关重要. 本文将着重叙述YBaC:uO系靶的组分与非晶薄膜成分之间的关系,反应溅射中氧与氩分压比对非晶膜成分的影响,薄膜成分、热处理工艺对丁。的影响,以及薄膜的结构分析.二、薄膜制备 将北京仪器厂生产的Js一450射频溅射台改装成适合于溅射YBa(:u氧化物陶瓷材料的磁控反应溅射设备. YBa(:u氧化物陶瓷靶的直径80 mm,平均密度5.2 g/gm。.溅射时背景真空度为1×10叫乇,溅射电压1.4 kV,基片加热至200℃,反应溅射时氩和氧的混合气体总压力为8×10。乇,YBC()膜厚1—2∥m.所用基片材料有单晶氧化锆,用钇稳定的单晶氧...  (本文共5页) 阅读全文>>

《华中理工大学学报》1988年06期
华中理工大学学报

高T_c超导薄膜的研究动向

高Tc超导材料的实用化和超导电子学的进展,在很大程度上取决于超导薄膜技术的突破,因此国内外正广泛而深人地开展薄膜生长方法、薄膜结构和特性的研究.华中理工大学光学系薄膜实验室和激光技术国家重点实验室利用射频溅射技术、电子束蒸发技术和激光蒸发技术分别在ZrO。和SrTIOs等衬底上制备Y-Ba-Cu-O薄膜获初步成果. 测试数据表明:利用三种方法制备的薄膜其零电阻温度均在85K以上,其中最好的结果是用射频溅射法在ZrO。衬底上制得的,开始转变温度为99K,零电阻温度90K,宽度为ZK,电流密度在78K下测量为10‘一104A/cm’.经X线衍射、扫描电镜和透射电镜等分析,膜层组成和厚度均匀;经多次冷热循环测试,表明性能稳定,且放置数...  (本文共1页) 阅读全文>>