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离子注入双极硅ECL集成电路

离子注入工艺已在MOS和CMOS集成电路的制造中获得广泛应用。它在双极硅集成电路制造中的应用近年来也有了进展〔‘’。这种工艺通常在室温下进行,注入后的退火温度在1000℃以下,从而避免了高温热处理带来的一系列不良影响(这比采用热扩散法进行掺杂的效果要优越得多)。此外,精确地控制离子注入时的电压、束流和时间,可以准确地控制离子注入的深度和浓度分布。使用一台能散度低的离子注入机,可以获得均匀性与重复性均优的成品。 1.ECL电路的设计考虑 图1是我们研究工作中提出的四门ECL电路,它包括16个晶体管和10个电阻器。R.DR.R.D凡 一V即图1双极四门ECL电路原理图 (1)电阻器ECL电路中的所有电阻器均由注入硼离子来实现。注入层的薄层电阻阻值的大小与注入剂量、退火温度和退火时间有关。图2、3是反映这些关系的实验曲线。根据多次实验获得的数据,在制造集成电路中的电阻器时,我们选用注入硼的能量为80keV、剂量为3 x 10’‘em“...  (本文共5页) 阅读全文>>

《西北大学学报(自然科学版)》1980年03期
西北大学学报(自然科学版)

离子注入在集成电路和超大规模集成电路中应用的现状、问题和建议

月lJ舌 从国际上近年来离子注入应用在IC特别是VLSI中的一些迅速进展,联想到国内的差距和实际存在的一些问题,我想就“离子注入(I/I)在集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)中应用的现状、间题和建议”这个题目谈谈自己的见解,对离子注入为集成电路的发展,也许更好一些,不对之处,欢迎批评指正。现状 从每年召开的“离子注入’,“固体电路’等国际会议和公布的文献[1了逐年增加及内容可以看到,由于生产上的迫切需要及研究工作的大量开展,离子往入作为一:项新技术正广泛应用于IC和VLSI之中,其现状可归纳如下: 1、难点有所突破三_l__兰兰:兰冠翌岁二兰兰星.兰创二兰二二下一…二夔竺二t二笙二二二{丁二(1)si中注人存在大剂量大束流的问题。(2)磁泡作为存储器出现的危机一一硬饱。(3)超导计算机的一个主重课题一一提高器件 临界温度。〔1)得到解决, 极和源漏等可傲浓而浅的注人,用于发射用离子往入得到克服。用离子注人可以得到改善...  (本文共4页) 阅读全文>>

《中国邮政》1976年05期
中国邮政

集成电路小知识

集成电路按其晶体管的性质可分为两种:一种叫作双极性晶体管集成电路,简称T、T、L电路。即由NPN或PNP晶体管组成的集成电路,在这种晶体管中运动的载流子有多数载流子与少数载流子(电子与空穴)两种极性。 另一种叫作单极性晶体管集成电路,简称MOS电路,在这种晶体管中只有一种多数载流子(电子或空穴)运动。按其结构也叫作金属一氧化物一半导体场效应集成电路。 目前场效应集成电路有:PMOS(P沟道型)、NMOS(N沟道型)、CMOS(互补型)。几种电路的性能比较,大致如下「性、俞...  (本文共1页) 阅读全文>>

《仪器制造》1974年04期
仪器制造

谈谈集成电路

一、概述 我们大家常看到收音机和电视机,有的同志还打开修理过,只要我们稍稍留心就会看到里面有许多像灯泡一样的电子管,或有的里面有各式各样像小草帽似的晶体管。电子管和晶体管都属于电子器件。 目前,不仅在军事工业,人造卫星和宇宙飞船,电子计算机,机电工业等部门的电子设备中,甚至在收音机、电视机、录音机等民用电子设备中,人们还能看到一种样子很像晶体管,但管脚较多的新元件,它就是我们下面要谈的集成电路—新型电子器件。 电子器件有什么作用呢? 大家都清楚,人要是没有心脏,血液循环就无法进行,人的生命也就停止。同样道理,在电子电路中,若没有电子器件,电路就无法工作。所以人们经常称电子器件为无线电的‘心脏”。 电子器件既如此重要,人们因此十分重视对它的研究。 自1904年人们发明电子管(第一代)后,在1948年又发明了晶体管(第二代)。由于晶体管比电子管具有体积小,重量轻、耗电省和可靠性高等一系列优点,经过不太长的时间,它就逐步取代了电子管的...  (本文共3页) 阅读全文>>

《工业仪表与自动化装置》1979年01期
工业仪表与自动化装置

集成电路在工业中的应用

棍述 从四十年代后期晶体管的发明至今三十年来,半导体科学技术和半导体产品生产的发展异常迅速。半导体科学技术在现代科学技术中.占有重要的地位。 半导体科学技术的迅速发展涌现出了一系列的半导体电子器件,对电子器件的发展起了一个划时代的变革。 二十世纪初出现的真空管被称为是电子器件的第一代产品。 一九四八年出现的晶体管被称为是电子器件的第二代产品。晶体管一经出现就以电子器件发展过程中前所未有的速度向前发展,短短数十年后就出现了各种不同用途,规格,功率及频率参数的晶体管数千种,还出现了各种诸如整流器件,光电声件,场效应器件,闸流管和硅可控整流器,微波器件等。并被广泛应用于电子计算机工业,工业自动控制,仪器仪表,电器,广播通讯等方面,例如对许多产品的革新和改造换代起了促进作用,并常把晶体管的电子计算机称为第二代电子计算机。 六十年代初期由于对半导体物理、材料物理、器件物理、器件电路结构、硅平面工艺、各类半导体工艺设备等方面基础理论及应用技...  (本文共9页) 阅读全文>>

《煤矿自动化》1982年03期
煤矿自动化

集成电路的分类

集成电路是用硅平面技术和薄膜工艺把晶体管、二极管、电阻和电容等做在一个(或几个)基片上,使之互联而构成某一电路,并封在一个管壳内,这种电子器件简称IC。 集成电路按制造工艺分为混合集成电路(包括薄膜和厚膜集成电路)和半导体集成电路。如微波集成电路中的微带技术就是一种薄膜混合集成电路,而低频放大集成电路和稳压集成电路等则是厚膜混合集成电路,有的载波机用的也是混合集成电路。在数字通信、电报通信设备等方面则多采用半导体集成电路,目前,国内外都很重视和大力发展半导体集成电路,特别是大规模集成电路,发展很快。 半导体集成电路按晶体管导申.类型分类,有单极型和双极型两种。双极型晶体管,因为由电子和空穴两种极性不同的载流子参加导电,所以叫双极型。双极型按晶体管应用状态,又分为饱和型(由饱和导通和截止状态来起开关作用的叫饱和型),控制饱和型(在饱和型电路中加入肖特基二极管,限制输出管的饱和深度和驱动电流,从而提高开关速度的叫控制饱和型),以及非...  (本文共1页) 阅读全文>>