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体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究

对一种梳状静电致动微夹持器的特性进行了测试。采用显微镜 -CCD -微机测试方案 ,微夹持器的状态信息通过数据采集及图像处理获取 ,得到“电压 -位移”特性曲线  (本文共5页) 阅读全文>>

清华大学
清华大学

微夹持理论与系统的研究

论文综述了微夹持器的研究进展、发展趋势和技术特点。总结了微机械悬臂梁的静电、压电、热、电磁等驱动技术,推导了计及边缘效应的梳状静电驱动器静电力公式。本文设计了大深宽比梳状静电驱动形式的微夹持器,采用了导电型并接地连接的微夹持臂,对被操作对象无特殊要求,且可防止静电对操作的影响。将梳状静电驱动微夹持臂设计成柔性结构,有效解决了静电力小与硅材料的弹性模量高之间的矛盾,使得微夹持器的力输出大大增加。建立了S形柔性夹持臂力学模型,同时给出考虑工艺条件、几何参数等条件下的微夹持器优化设计过程。设计中用有限元方法进行夹持臂模态分析、柔性结构刚度估计等,并对微夹持器工作电场的进行仿真,以考察静电驱动对微操作对象的影响。有限元分析表明,柔性结构使得微夹持臂的刚度降低,而且微夹持臂具有很高的一阶频率,静态设计设计即可满足要求,梳状静电驱动器不会对微操作构成影响。设计了梳状静电驱动微夹持器的微细加工工艺,对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,包括:钻...  (本文共100页) 本文目录 | 阅读全文>>

《清华大学学报(自然科学版)》2003年05期
清华大学学报(自然科学版)

基于体硅工艺的微夹持器设计

为克服静电致动微夹持器夹持力小、运动范围小的弱点,设计并研制了一种基于体硅工艺的微夹持器。建立了S形柔性夹持臂力学模型,借助有限元方法进行结构优化、夹持臂模态分析以及静电驱动器...  (本文共4页) 阅读全文>>

《矿业安全与环保》2016年06期
矿业安全与环保

自动对中常闭复合液压夹持器的设计与分析

在分析现有煤矿用全液压坑道钻机液压夹持器结构特点的基础上,提出自动对中常闭复合液压夹持器的...  (本文共3页) 阅读全文>>

《发明与创新(中学生)》2017年08期
发明与创新(中学生)

文具夹持器

铅笔是学生常用的文具之一,用过一段时间被削短后不好握持,导致多数铅笔头被丢弃。橡皮使用时间久了也会变小,...  (本文共1页) 阅读全文>>

《制造业自动化》2016年10期
制造业自动化

两指自适应机械夹持器设计与研究

随着对机械夹持器的研究和使用的深入,夹持器逐渐往多功能、适应性强、拟人化的方向发展。设计了一种机器人末端自适应夹持器,该夹持器为基于单电机的欠驱动系统。利用欠驱动系统的优点并通过机构的设计,使...  (本文共5页) 阅读全文>>

《矿业安全与环保》2015年01期
矿业安全与环保

复式夹持器联动系统动态特性仿真与实验研究

针对现有煤矿钻机用夹持器的缺陷,将碟簧常闭夹持器及液压夹紧夹持器复合形成复式液压夹持器(复式夹持器)。通过建立夹持器进钻联动系统模型和传递函数,分析了影响进...  (本文共5页) 阅读全文>>