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集成电路同步幅射光刻镜扫描控制系统

1 同步辐射光刻大规模集成电路光刻线条的精细程度以及光刻的深度直接关系到电路集成的密集程度和微组件集成的可行性及可靠性。同步辐射光源用于大规模集成电路光刻时 ,除具有X光源应具有的优点外 ,还具有以下一些优点 :由于具有很高的准直性 ,所以曝光对图形线条的变形影响小 ;比常规X光源的光强强 2个数量级以上 ;可根据光刻胶的种类选取在连续光谱中的合适的波段曝光 ;在水平方向有很高的偏振特性等。在我国第一台同步辐射装置光刻光束线上 ,成功地实现了亚微米光刻 ,如图 1所示 ,这说 图 1 亚微米光刻线条明我国在这一领域已接近国际先进水平。这为毫微米集成技术 ,即分子级集成技术的研究创造了良好的条件。同步辐射光在水平方向上呈扁平的扇形 ,其中在 50~ 2 50nm波段 ,在垂直方向的发散角仅为1mrad ,须经扩展后才能满足大规模集成电路曝光的需要。为此 ,设置一块平面反射镜 ,用一旋转步进马达带动连杆驱动它摆动 ,摆角约为± 3m...  (本文共2页) 阅读全文>>

《光电子技术与信息》1999年06期
光电子技术与信息

集成电路光刻镜扫描控制系统

1同步辐射光刻大规模集成电路和微器件光刻线条的精细程度以及光刻的深度直接关系到电路集成的密集程度和微组件集成的可行性及可靠性。亚微米光刻(如图1所示)及微齿轮等微型器件在我国第一台同步辐射装置光刻光束线上的成功实现,说明我国在这一领域已达到国际先进水平。同步辐射光源除具有X光源的优点外,还具有以下一些优点:很高的准直性使曝光对图形线条的变形影响小;比常规X光源的光强高2个数量级以上;连续光谱可根据光刻胶选取合适的波段曝光;在水平方向有很高的偏振特性等。这为面向21世纪纳米集成技术,即分子级集成技术的研究创造了良好的条件。同步辐射光是一组在水平方向上扁平的扇形光,其中0.5~2.5urn波段在垂直方向的发散角仅lmrad;须经扩展才能满足大规模集成电路曝光的需求。用一旋转步进马达带动连杆驱动一块平面反射镜来回摆动,摆角约正负3mrad,这样可在距光源7m处的曝光室内得到40rum的镜扫描光栅。该光栅的均匀度一般应优于互0%。曝光的...  (本文共3页) 阅读全文>>

《红外》2005年01期
红外

低速大惯量高精度扫描控制系统的电流环研究

1概述 扫描系统是风云四号气象卫星扫描辐射计的重要组成部分,也是与卫星及应用系统有着密切联系的部分.它的性能直接关系到云图的导航与配准精度.扫描控制系统涉及光、机、电、伺服控制等技术领域.对扫描控制系统的基本要求是精度高、响应速度快、稳定性好、连续工作寿命长和功耗低. 在三轴稳定的卫星平台上,对目标信号采取二维扫描方式.目前在国内,自旋卫星扫描系统使用步进电机作为驱动部件,而三轴稳定卫星平台一般使用的是直接驱动.步进电机控制使用的是开环控制,通过机械方式进行减速,因此对机械精度要求高;伺服电机使用的是直接驱动,对控制精度要求非常高.在对目标进行成像的过程中,扫描速度稳定性和定位准确性是系统的关键技术,决定了扫描系统的性能,因此拥有一套高性能的永磁同步电机控制系统是非常重要的. 图1为一般扫描控制系统的原理框图.从电机控制系统框图上可以看到,电流环是系统的最内环节,是最终的执行环节.电机的运行是依靠电流驱动来完成的,电流环的好坏决...  (本文共6页) 阅读全文>>

权威出处: 《红外》2005年01期
《实用放射学杂志》2001年02期
实用放射学杂志

扫描控制系统故障分析

我院自 1991年 10月使用SIEMENSSOMATOMCR全身CT机以来 ,在扫描控制系统方面 ,曾出现如下的 2例故障 ,现分析如下。1、故障现象 :机器扫描有时中断 :PROJECTIONSRE CEVERED 36 0 ,VS0 0 80TIMOUTMEASUMENT等不能进行连续扫描 ,而必需要按RESET扭多次 ,或重新启动 ,机器才能连续扫描。处理 :BSP及DSA数据传输程序检查通过用TIM 4、5程序测试机架旋转速度 ,发现旋转速度在下限值 ,而最小脉宽间隔≤ 8.7ms。调整机架旋转速度 ,确保最小脉宽 ,在各种TIM测试模式中均≥ 2 8.7ms。准备工作 :①扫描控制各开关放在正常状态 ;②旋转马达开关放到“I”位置 ;③调用ASO4程序 ;④ @A〈CR〉。然后执行下列指令 ,正反两个方向的测试参数必须符合下表所列范围 :附表TimingcurveMeasurementtimeminimumtimeb...  (本文共2页) 阅读全文>>

《电子测量技术》2004年04期
电子测量技术

自动变扫描控制技术

以此作为原点,代表光束自准直后的象点位置。当平面反射镜与光轴不垂直,假设夹角为a,则返程光线与经纬仪光轴有2a夹角,成象在CCD靶面上,其光点中心距原点距离为ZaXf(f是CCI)成像物镜焦距),通过对CCI〕象元计数,可以求出这一距离,进而解出a。在进行C(工〕光电自准处的同时,通过目镜可以在分划板上看到激光像点,进行光学目视自准直。 .书一困旧一.于物镜激光器照明系统狭缝一必射镜’‘负透镜!斗暨一屠夕反射橄 分划板一斗翻 日镜 一卜小尤电J..,月卫卜l︸一杀一1月J翎11湘川..dJ.卜.汁 近年来,随着半导体工艺的改进和提高,电荷藕合器件—(11)的整体性能有了很在的改善,为(I刀在许多领域中的应用开辟了广阔的前景。在实际“刀驱动电路设计时,我们需考虑以下问题: ①CCI〕几何中心与能量中心很难重合; ②半导体能量变化对测角精度的影响; ③激光光束在空气媒仁的散射、扰动对测角精度的影响: ④CCI〕动态范围对积分时间的影...  (本文共2页) 阅读全文>>

《医疗设备信息》2001年05期
医疗设备信息

SOMATOMCR全身CT扫描控制系统故障维修2例

故障1机器扫描有时中断 ,PROJECTIONSRECEVERED360 ,US0080TIMOUTMEASU MENT等不能进行连续扫描 ,非要按RESET按钮多次或重新启动。处理BSP及DAS数据传输程序检查通过 ,用TIM4、5程序测试机架旋转速度 ,发现旋转速度在下限值 ,而最小脉宽间隔≤8.7ms。调整机架旋转速度 ,确保最小脉宽 ,在各种TIM测试模式中均≥8.7ms。BSP接收数据恢复正常 ,无曝光中断现象 ,但偶尔还会出现正方向扫描结束 ,TUB反方向启动失败情况 ,利用TSO4 程序做GANCO检查机架旋转各限位开关位置 ,正常。观察扫描控制系统运行时各指示灯的状态情况 ,发在故障时D16板V3灯ROW -CW不亮 ,压紧S14触点 ,D16板V3灯亮 ,调换S14微动开关后 ,系统恢复正常工作。维修小结本起故障原因 ,先为开关簧片疲劳 ,触点接触不良 ,引起反向旋转启动状态不对 ,机器反相扫描时出错 ,而非按...  (本文共1页) 阅读全文>>