分享到:

CO_2激光器

以CO2作为工作物质的气体激光器,是目前材料加工中使用得最多的一种激光器。为了能对厚板和厚截面构件进行焊接  (本文共2页) 阅读全文>>

华中科技大学
华中科技大学

高功率机械调Q CO_2激光器的研究

近年来CO_2激光器和调Q技术的重大进展,为高功率的高重复率短脉冲CO_2激光器开辟了新的途径,这种激光器被公认为是激光等离子体极紫外光源的最佳驱动激光器,是下一代光刻技术—极紫外光刻技术实用化的关键技术之一。本论文围绕谐振腔的稳定性、机械调Q CO_2激光器的动力学过程及输出特性,进行了相关问题的研究。首先,对CO_2脉冲激光器在谐振腔的稳定性方面进行了理论研究。在机械调Q CO_2激光器谐振腔设计原理的基础上,运用光学谐振腔传播矩阵理论,对斩光盘式调Q CO_2激光器谐振腔的稳定性进行了计算和分析。结果表明透镜之间的距离、透镜与输出镜之间的距离等参数的改变对谐振腔的稳定性产生明显的影响。基于上述分析,确定了实验参数并获得了稳定腔。随后,采用四能级模型对设计的斩光盘式调Q CO_2激光器的输出特性进行了模拟仿真,通过理论与实验相结合的方法确定了CO_2激光器的动力学参数,观察不同的实验参数变化对激光器输出特性的影响。仿真结果显...  (本文共61页) 本文目录 | 阅读全文>>

华中科技大学
华中科技大学

声光调Q可调谐CO_2激光器的研究

调Q技术的出现和发展是激光发展史上的一个重要突破,一方面在调Q激光脉冲与物质的相互作用上,直接推动了非线性光学的发展。另一方面在极窄脉宽的调Q激光脉冲上使得激光测距、激光雷达和高速全息照相等应用技术得到了很大的发展。本论文围绕声光调Q可调谐CO_2激光器的输出特性及其四能级模型的模拟仿真,进行了若干问题的研究。本论文首先对目前国内外调Q技术的动态做了充分调研,在此基础上依据实验室EUV项目要求,根据实验室现有条件研制了一台声光调Q可调谐CO_2激光器。本论文研究可调谐连续CO_2激光器的目的在于获取CO_2激光9~11微米全波段波长的可调谐输出,在对激光器的性能参数有一定了解后,找出后续调Q工作所需的波长谱线,为10P(20)。本论文采用四能级模型对设计的声光调Q CO_2激光器的输出特性进行了模拟仿真,并将仿真结果与实验结果作比较,以观察理论模拟和实际实验两种情况下激光器输出特性的联系和变化。为了能够全面的研究声光调Q CO_...  (本文共57页) 本文目录 | 阅读全文>>

华中科技大学
华中科技大学

高功率射频CO_2激光器放电机理研究

射频激励技术的应用使得高功率CO2激光器的综合性能得到很大的提高,主要表现在光束质量、工作稳定性等方面。深入了解射频放电机理对CO2激光的发展有重要的意义。本文主要从以下三个方面分析了射频放电特性:(1)利用一维射频放电模型对射频放电等离子体特性进行了分析,得到了横向电子密度分布、空间电场分布以及射频辉光放电区结构和等离子体的等效阻抗计算方法。并分析了不同频率范围内的气体击穿机理。同时,根据空间电子密度分布以及温度分布求得了放电区横向增益分布。(2)通过理论计算分析了频率与击穿电压和击穿功率的关系。同时,利用替代测量法得到了激励频率对等离子体等效阻抗的影响。并分析了不同谐振电感数目对极板电压分布的影响、激励频率对射频辉光放电区结构的影响,得到了与第一部分理论分析相一致的结论。(3)在大量数据分析的基础上总结了气体配比和气压参数选择方法。其中,重点论述了Xe对放电特性的影响。本文对气体的局部参数CO2的分解过程也进行了理论分析,找...  (本文共69页) 本文目录 | 阅读全文>>

华中科技大学
华中科技大学

射频激励板条CO_2激光器信号检测与人机界面设计

射频激励板条CO_2激光器在激光加工领域得到了广泛的应用。要使射频激励板条CO_2激光器能够长时间稳定的运转,必须对激光器信号进行精确的检测与控制。本文旨在分析设计大功率激励板条CO_2激光器人机界面和信号检测系统。研究了大功率射频激励板条CO_2激光器信号检测系统的气压检测、整机各部分温度的检测、光功率的检测、水流量和水压的检测、激光器射频电源的检测以及人机界面的设计。具体包括以下内容:(1)设计了射频激励板条CO_2激光器整机检测系统。分析了射频激励板条CO_2激光器的水路系统,气路系统和光路系统结构。根据激光器的系统结构和原理设计了激光器检测系统总体框架、水冷却系统水流量和水压力信号的检测方案、光功率检测方案、真空系统信号的检测方案、激光器整机温度信号的检测方案和实验。根据激光器检测系统的要求进行了传感器的选型,安装和检测电路的设计。(2)设计了激光器射频电源信号的检测系统。研究了自激式电子管射频电源的主要参数。根据射频电...  (本文共69页) 本文目录 | 阅读全文>>

四川大学
四川大学

系列轴对称结构CO_2激光器输出光束分析及整形

激光作为一种特殊的能源用于加工,有着其它能源不能替代的优点:激光可以对绝大多数金属和非金属加工;激光作为一种非机械加工刀具,对材料没有机械压力或机械损害,对环境基本无污染;激光加工不会受到电场或磁场的干扰;激光加工是非接触式加工,激光可以穿透材料外壁,对其内部进行加工,也可以对金属刀具难以到达的地方进行加工;激光束可以聚焦到极其细小,对材料进行精细加工;激光束大小可调,具有很大的柔性。激光在加工领域表现出来的优势促进了激光加工工艺的发展;同时,加工领域反过来促进激光器的发展。光束质量是激光制造系统发展、进步的重要标志。追求高光束质量的大功率激光输出是现代激光制造用激光器不断发展的目标。高功率和高品质始终是所有制造用高功率激光器发展的两根主线。CO_2激光具有气体激光方向性好的优势。波长处于红外波段的CO_2激光尤其适宜高功率激光加工。本文针对一类新型的CO_2激光器——轴对称结构CO_2激光器的输出光束进行分析和整形,以期能尽可...  (本文共108页) 本文目录 | 阅读全文>>