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薄层电阻测试结构的研究

本文叙述了 Van der Pauw(VDP)测试结构的基本原理及测量方法。试制了七种这类的测试结构。用圆形 VDP 结构和四种不同形状的十  (本文共12页) 阅读全文>>

东南大学
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MEMS几何学及电学PCM参数电提取研究

微电子机械系统(MEMS)是近年来国际上兴起的一个新的研究领域,是新一轮技术产业革命。目前,世界各国对MEMS的投入力度在逐年增大,然而,MEMS的应用却比预期的要慢,其中主要原因是MEMS器件的可靠性不能得到保证。除了为数不多的MEMS产品进入市场外,相当一部分MEMS器件依然停留在实验室阶段。MEMS表面微机械加工工艺开始于20世纪80年代,克服了体微机械加工工艺的诸多缺陷,工艺相对成熟且与集成电路生产工艺兼容,成为当前最主要的MEMS加工工艺之一。PCM系统是提高器件可靠性和生产效率的最有效手段之一,因此,为MEMS表面加工工艺建立一套PCM系统具有重要意义。一个完整的MEMS表面加工工艺PCM系统应当包括三个部分:电学参数提取、几何学参数提取和材料特性参数提取。本文的研究内容是影响MEMS器件性能的主要电学参数和几何学参数的电提取。本文首先介绍MEMS的起源、概念及应用前景,讨论了开展MEMS工艺参数提取研究的意义,随后...  (本文共60页) 本文目录 | 阅读全文>>

河北工业大学
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结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究

随着科学技术的飞速发展,作为计算机的基础元件——集成电路已由超大规模(VLSI)向甚大规模(ULSI)发展。图形日益微细化,电路尺寸不断缩小,这一方面要求芯片材料的直径不断增大以提高生产率,另一方面对晶体材料的完美性、机械及电特性也提出了更为严格的要求。特别是芯片微区的电学特性及其均匀性已成为决定将来器件性能优劣的关键因素。因此,微区电阻率的测试成为芯片加工之中的重要工序。为此,本文开展了以下研究工作:讨论微区电阻测试的重要性,综述如今已研究出来的各种测试方法的特点;详细分析四探针测量技术的基本原理,重点讨论常规直线四探针法、改进范德堡法和改进Rymaszewski四探针测试方法;研究四探针测试技术中的共性问题,有限元法适用于解决有限尺寸样品的边缘修正问题;完成薄层电阻的测试仪器的系统设计,其中在机械系统设计中,应用无间隙水平移动测试平台,控制被测样品的测试微区的间距,实现了以较高的定位精度进行大型硅片的无图形等间距测量;在薄层...  (本文共123页) 本文目录 | 阅读全文>>

河北工业大学
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用四探针法测试硅片微区薄层电阻的稳定性研究

随着电子科学技术的发展,各种电子设备的电路尺寸越来越小,集成化程度越来越高,这就要求制作电路的核心材料---半导体材料的各种电气性能稳定。为了保证材料的性能符合要求,监测是必不可少的手段。稳定性对测量数据准确与否起着非常重要的作用,本论文正是出于此目的,对用四探针法测量硅片的微区薄层电阻率的稳定性进行了较深刻的研究。本文开展了以下研究工作。讨论了微区电阻测试的重要性,综述如今已研究出来的各种测试方法的特点;详细分析了四探针测试技术的基本原理,重点讨论常规直线四探针法、改进范德堡法和改进Rymaszewski四探针测试方法;研究四探针测试技术中的影响测量精度的各种因素;分析了探针游移对方形四探针测量的影响;分析了测量过程常见的干扰因素并提出相应的解决办法;对方形探针测试仪进行改进。本论文的主要创新点:1.系统的分析了四探针测量过程中影响因素。2.推导出探针游移对方形四探针法的影响公式。3.对现有的方形探针测试仪提出改进方案。  (本文共50页) 本文目录 | 阅读全文>>

《上海师范大学学报(自然科学版)》1980年02期
上海师范大学学报(自然科学版)

薄层电阻测试结构的研究

本文叙述了Van der Pauw(VDP)测试结构的基本原理及测量方法。试制了七种这类的测试结构。用圆形VDP结构和匹种不同形状的十字...  (本文共12页) 阅读全文>>

河北工业大学
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表征薄层电阻的Mapping技术研究

本文介绍了常用的微区电阻测试方法,通过比较各种方法的优劣,选择四探针方法进行研究,分析了常规直线四探针法的基本原理、测准条件、电流量的选择、边缘和厚度的修正以及测量区域的选择。从常规直线四探针法入手,引进了改进的范德堡法,即斜置式四探针法,阐述了该方法优于常规直线四探针法的测量原理及测试条件,然后基于常规直线四探针法和改进的范德堡法,探讨了用于测量薄层电阻率的斜置式方形Rymaszewski四探针法的原理,用该方法测定了4吋圆形硅片的电阻率分布。从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分割数和差值,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归于不同的模糊集,同一模糊集对应相同的电阻率,这样使得电阻率能以一定间隔分布,然后应用MATLAB软件画出电阻率的图形,以构成Mapping图。选取的Mapping图表示方法有:径向图、径向对比图、彩图、灰度图和等值线图。比较各种薄层电阻分布图的表示方法,优选出最理想的表征薄层电阻的Mapp...  (本文共68页) 本文目录 | 阅读全文>>