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V形槽壁热氧化膜质量的检测

一、引言 近几年来在国外,纵向V形槽MOS场效应晶体管「简称VVMOSFET」技术发展得很快,VMOS功率管已有系列化产品。国内也正在试制中。VVMOSFET结构和一般平面MOSFET结构不同,后者栅绝缘膜沿(100)晶向的硅片表面生长,前者栅绝缘膜则是沿(111)晶向V形槽边壁生长。(结构见图一) 沿V形槽壁热生长的氧化膜清洁与否、品质如何、硅一二氧化硅系统性能如何、是能否制成稳定可靠的VVMOS FET的关键之一。为此,我们在试制VMOS功率器件过程中采用了液晶显示、自愈合介质击穿试验和CesV测试等方法对沿V形槽壁热生长的二氧化硅膜进行了物理检测。检测结果表明,只要采用恰当的清洗工艺以及保证优良的光刻图形,无论选用联氨水溶液或者采用氢氧化钾、异丙醇、水三元混合溶液作硅各向异性腐蚀剂,在高温全干氧或掺氯氧化工艺中均能沿V形槽壁生长出清洁的优质氧化膜。气乓,褪户 众‘一一一Soes仍乙..﹄一刀小图1 VVMOS卫ET和平面M...  (本文共6页) 阅读全文>>

《建筑技术》2000年02期
建筑技术

用拱结构解决有超载的地下连续墙槽壁稳定问题的工程实例

地下连续墙成槽过程中,泥浆槽壁的稳定性分析十分重要。泥浆沟槽开挖以后,尽管有泥浆护壁,但壁面仍会产生变形。影响壁面变形的因素十分复杂,与地层性质、土质的流变性、泥浆密度、液面高度、地面有无超载、超载的分布形式、槽壁的几何尺寸(包括槽壁宽度及槽深)、成槽的施工工艺(即成槽的时间及槽壁的暴露时间)、地下水位的高低等因素紧密相关。地下连续墙施工过程中,常会发生槽壁坍塌的现象,特别是在密集建筑群附近施工地下连续墙时,若不采取有效措施,坍壁的情况会十分严重。由于槽壁坍塌造成墙后地面下沉,不但严重威胁建筑物的安全,还会造成路面开裂及管线损坏等。槽壁坍塌也严重影响地下连续墙的施工质量和工期,给下一道工序顺利进行带来不便。本文以上海地铁2号线河南路车站为工程背景,对近邻高层建筑物的地下连续墙的槽壁稳定性进行分析。经实践证明,该车站采用的使槽壁稳定的措施是成功的。1河南路地铁车站的槽壁稳定的措施图1为河南路地铁车站的平面布置图。从图中可以看出,大...  (本文共3页) 阅读全文>>

《同济大学学报(自然科学版)》2000年03期
同济大学学报(自然科学版)

超载时地下连续墙的槽壁稳定分析与实践

随着地下工程的发展,城市基坑工程通常处于建筑的密集地区.为了保护基坑工程的周围环境,通常采用地下连续墙作为基坑的围护结构.这些有超载的地下连续墙成槽过程中,泥浆槽壁的稳定性分析更加重要.本文以地铁2号线河南路车站为工程背景,对有超载的槽壁的稳定性进行分析,探索出一种新型形式的槽壁稳定控制方法,实践证明是成功的.1 计算模型的建立1.1 槽壁开挖前的土体的应力状态分析图1为槽壁开挖前的示意图.每幅槽壁的长为L,槽壁的宽为b,利用角点法,则可求得大面积超载作用下,槽壁开挖前土体的应力状态σx=K0(Kcq+γ′y)+γwy,σy=Kcq+γy式中:Kc为角点应力系数;γw为水的重度,kN·m-3.为了方便起见,忽略此时的剪应力τxy,则槽壁开挖前的大、小主应力分别为σ1=-(Kcq+γy)(1)σ3=-[K0(Kcq+γ′y)+γwy](2)成槽前,超载作用下的土体的固结基本完成,处于K0平衡状态.槽壁开挖后,打破了土体中原有的平衡...  (本文共5页) 阅读全文>>

《机械制造》1988年07期
机械制造

密封圈新结构

气动装置的使用性能在很大程度上取决于活动连 接密封部件的结构。这里所介绍的密封圈新结构如图 工所示,它具有T形截面,工作可靠,使用寿命长,卜因为它们在工作时产生的摩擦力很小。 装配时(图Za),密封圈3沿气缸2的工作直径D具 有过盈,而在活塞槽内则具有间隙k~0 .Zmm和a, 0.lmm。与气缸接触的环形表面的圆弦半径r等于环 截面高度h的一半。 密封圈的工作情况如下:在供给压缩空气时(图 26),密封圈在变形的同时沿气缸表面滚到用凸缘(圆 周半径rl)与活塞槽壁接触。在空气压力增加时,密封 圈沿气缸表面滑动,压向槽壁,然后与活塞一起运动。因为在消除侧面间隙时,密封圈只是滚动,而不象圆形截面密封圈那样沿配合零件“飘浮”滑动,所以在空气压力P~0 .02、。.仍Mpa时甚至在k=0.06、0.5~的情况下都能保证密封;此时摩擦力不超过ZN(无润滑时)和IN(使用润滑剂时). 现已研制了专门标准的T形截面密封圈,包括用于气缸的(参...  (本文共1页) 阅读全文>>

《土工基础》2014年04期
土工基础

地铁车站地下连续墙槽壁稳定性分析

1引言地铁作为疏导城市客流的主要交通工具,车站经常敷设在建筑物、管线密集的主城区,因此,车站深基坑开挖要面临保护建筑物和管线的难题。地下连续墙作为一种刚度大、止水效果好、对周边环境影响小的深基坑支护工艺,在距离建(构)筑物较近的地铁车站基坑工程中得到广泛的应用和推广。然而,单一的依靠地下连续墙并不能解决对周边建构筑物沉降的影响,因为在连续墙成槽过程中,在周边建构物载荷的作用下会致使连续墙槽壁坍塌,进而引发地面塌陷、建筑物变形等后果。因此,研究连续墙的槽壁稳定性有着重要的工程意义。2槽壁稳定影响因素2.1地质条件一般来说,粘性土层发生槽壁坍塌的可能性较小,砂土和砾石层发生坍塌的可能性较大;在干燥地层中槽壁坍塌的可能性小,在地下水丰富的地层中坍塌的可能性较大。2.2泥浆液面高度泥浆的主要功能是护壁,现行规范中要求施工期间槽内泥浆面必须高于地下水位0.5m以上、并不应低于导墙顶面0.3m。地下水位固定的情况下,泥浆液面越高,泥浆对于槽...  (本文共3页) 阅读全文>>

《建筑施工》2009年07期
建筑施工

地下连续墙槽壁稳定性探讨

地下连续墙作为深基坑围护结构,因其突出的整体性和抗渗漏性等优点而得到广泛应用,特别对于紧邻建(构)筑物的深基坑围护,更倾向于采取地下连续墙型式。但是,地下连续墙施工中须重点关注成槽槽壁的稳定性控制,自地下连续墙推广应用以来,因槽壁坍塌而导致围护结构侵界、地下压力管线爆裂、临近建(构)筑物产生不可逆破坏等质量安全事故时有发生,尤其在周边环境复杂的软弱地层进行地下连续墙施工,成槽过程中的槽壁稳定性控制更为关键。1槽壁失稳机理地下连续墙成槽施工,由于土体卸载,导致地层的原有应力平衡受到破坏,应力场发生改变进行重新分布,进而将引起周边环境的随动变化。因此,最大限度保持成槽阶段土体的应力平衡至关重要。土层的水平应力:σ土=Kni=1ΣγiHi(1)式中K—土层水平侧压力系数;γ—各层土体容重;H—各层土体厚度。槽段开挖后,地层的水平应力如果未得到平衡,在水平应力作用下,土体将会发生向槽段内的位移并持续发展,最终将导致槽壁坍塌失稳。因此,地...  (本文共2页) 阅读全文>>