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用核反应分析测定硅中的扩硼量

一、引言 \ 瞬发核反应分析是一种利用核反应的瞬发粒子或辐射来测定元素浓度的方法,它是离子束分析的一个分支王‘,。带电粒子轰击样品时,它一方面通过电离损失能量,另一方面与靶原子核产生核反应。对于一个特定核反应的截面,与入射粒子的能量有关,且在一定的能量下可以出现共振峰。所以适当地选择反应道和入射能量就可以测定样品中杂质的浓度分布。核反应分析对于扩散现象、薄膜增长、表面沾污的研究,特别对于半导体杂质研究是一种非常有效和快速的测量方法‘:,。本文用1‘B(p,a,)叨地*反应测量高纯硅中扩硼量及其在样品中分布。 二、实验装,及侧t条件 应用静电加速器提供质子束,能量从0 .SMeV到2.SMeV连续可调。图l表示靶室装置概貌。质子束经过四级准直孔和反散射孔后,以22.5。的斜角打在靶上。a粒子用直径为18~和12~两种面垒半导体探测器探测,探测器前有价8~准直孔和6”m厚的铝吸收片。用自制直流藕合抗堆积电荷灵敏放大器配4096道分析...  (本文共5页) 阅读全文>>

《材料保护》1960年10期
材料保护

利用O~(18)示踪和核反应分析研究不锈钢的着色机制

利用O~(18)示踪和核反应分析研究不锈钢的着色机制清华大学材料科学与工程系(100084)白新德,尤引娟,马春来,陈文莉摘要利用O18示踪技术和O18(P,α)N15核反应分析研究了不锈钢在H2SO4-CrO3溶液中形成氧化膜机制,用ESCA分析了不锈钢表面氧化物的价态。主题词不锈钢,氧化膜,示踪技术,核反应分析AStudyonColoringMechanismofStainlessSteelbyO~(18)TracingandNuclearAnalysis¥Abstract:ThecoloringmechanismofstainlesssteelinthesolutionofH2SO4-CrO3wasinvestigatedbyO18tracingandnuclearanalysistechniques.Thevalenceofoxidesinthefilmwerealsoanalyzed.1前言O‘’示踪技术和核反应分析技...  (本文共4页) 阅读全文>>

《核技术》1988年03期
核技术

渗氮钢表面氮含量的核反应分析研究

常规的渗氮质量检验和工艺控制主要依赖金相观察和硬度测量,不能给出氮含量数值,使进一步分析受到限制。 渗氮样品表面氮含量的测定,可为渗氮质量检验提供有效方法,为渗氮新工艺提供可靠数据。 本工作研究利用核反应15N(p,即)‘ZC分析渗氮钢表面氮含量的最佳测试条件、分析误差、分析灵敏度及深度分布等。并对渗氮工艺生产的样品进行了实际检测。准直孔绝缘环 一、实验方法与装置‘ 当用一定能量的质子束于轰击氮靶时,将发生‘5峨p,ay)‘,c反应‘1,,,,原则上只要测定剩余核‘ZC放出的4.43Mevy射线的产额就可以定出氮的含量。 在实际工作中,反应产额多由实验C良IimatorInsulator 靶Target 铅屏蔽Pb ShieldI(TI辉测器卜拱井井共刹圈翻‘队~驾印.……。-.一图1靶室装置结构示意图Fig.1 Target ehamber strueture测定。文献〔3一5〕给出了各种核素厚靶的产额,直接使用是方便的。但具...  (本文共4页) 阅读全文>>

《科学通报》1989年10期
科学通报

BF_2~+分子离子注入硅中的硼原子深度分布的核反应分析研究

分子离子注人半导体材料是一个有效的降低杂质原子能量,快速行成非晶层的有效方法.用BF广分子离子注人硅中形成的浅结器件可能较B+原子离子注人更为有益.测定和研究BF扩分子离子注人硅后硼原子的深度分布,并与B+原子离子注人的深度分布进行比较,对于了解分子离子注人的特征和对所形成的器件性能的研究是十分必要的. 我们利用“B(p,。)SBe在E,~163keV的共振反应对不同能量的BF犷分子离子注人硅中的硼原子深度分布进行了测定和研究,并与相应能量的B+原子离子注人进行了比较.在注人能量为50,100,150,200keV,注人剂量为1 .5 x 10‘6/e心和注人能量为300、400、500、600kev,注人剂量为Zx10川。砂的条件下,BF才分子离子在n一型硅的面的7度方向注人.利用兰州大学的2 x 1.7Mv串级加速器产生的质子,测量了硼的反应产额随人射质子能量的变化关系.在假定含量分布为高斯分布的...  (本文共1页) 阅读全文>>

《核物理动态》1989年01期
核物理动态

加速器在医学上的应用

、加速器用于放射性核 素的生产 1.核素在现代医学中的地位 核素及核射线在生物医学中的应用,极大地促进了现代医冬的发展。 核素作为分析工具的优点在于灵敏度高和探测的特异性好。突出成就表现在它用于测定体液或组织中含量极微的成分,如微量的维生素、药物、激素等。它还可以在不损伤机体的情况下测定体内不易分离的成分。 核素作为示踪原子时的主要医学应用如下:区分内源物质和外源物质,显示物质在体内、细胞内或亚细胞结构中的分布和转移情况,研究和确定代谢转变和转变的具休速度,研究和考察代谢的途径。 核素作为辐射源使用时的用途有两个。其一是利用射线杀伤细胞的性能,进行许多疾病特别是恶性肿瘤的放射治疗。其二是试制新的能源。原来用作宇宙飞行能源的放射性核素,早已用作心脏起博器。把‘’。T。等核素用于携带式无电源x线机的射线源,把““甲u作为人工心脏的动力,这些开创研究都在进一步完善中。 2.加速器生产放射性核素的优点 ①加速器生产核素满足了现代医学发展...  (本文共5页) 阅读全文>>

《北京航空航天大学学报》1940年10期
北京航空航天大学学报

用~(11)B(p,α_0)~8Be核反应分析B~+离子注入铜合金中的浓度分布

用~(11)B(p,α_0)~8Be核反应分析B~+离子注入铜合金中的浓度分布王贻华,胡正琼,张颖,杨晓劲,司马丽维(北京航空航天大学应用数理系)(清华大学光学仪器系)(北京航空航天大学制造工程系)摘要采用11B(p,α0)8Be核反应分析了B+注入锡青铜样品中的纵向浓度分布.该分布具有较宽的高浓度峰,表明样品表面可形成优良的改性层.讨论了提高核反应分析法深度分辨率的主要因素,指出减小入射质子束的能量分散度、提高探测系统的能量分辨率及增大B+的能损因子,是提高深度分辨率的主要途径.关键词离子注入;核反应分析;浓度分布分类号TB302;TG115.9核反应分析方法是一种重要的表面分析技术,它以原子核反应为基础,可对固体中杂质(例如注入原子)的种类、含量及深度分布进行间接测量.根据离子注入的条件(能量、剂量等)及基体元素的性质,选用适当的人射粒子及其能量,使之仅与被测元素发生核反应.探测核反应产生的带电粒子(例如a粒子)产额,便可得...  (本文共5页) 阅读全文>>