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基于双热电偶校准ECR-PEMOCVD薄膜生长温度分析研究

引言宽带隙的Ⅲ族GaN基氮化物包括AlN、InN及其固溶体,它们直接带隙能量在6.2eV(AlN)到0.8 eV(InN)[1]之间连续可调,是制备蓝绿光到紫外光波段的发光二极管(LED)、激光二极管(LD)等光电器件的首选材料[2,3]。对于半导体GaN基氮化物薄膜生长工艺有多种如:MOCVD、MBE[4]、MOVPE[5]等等,本文所提及的是电子回旋共振等离子体增强金属有机化学气相沉积(ECR-PEMOCVD),它特别适合半导体薄膜和陡峭异质结的生长[6]。薄膜材料生长,温度是一个很重要的参数,在薄膜制备中较流行的“高温清洗,低温氮化”,这足以说明温度的重要性。由于薄膜生长的真实温度与设定温度往往是有较大差别,所以在薄膜改性实验中,要注意它们间的对应关系。另外,薄膜生长系统ECR-PEMOCVD时常要进行一定的维修,或维修前后,薄膜生长的环境温度是有变化的,也要进行温度的校准。对于两者温度的校准很少有文献进行报道。在此,本文...  (本文共4页) 阅读全文>>

《计量与测试技术》2016年10期
计量与测试技术

一种短型热电偶校准装置

A Short-Type Thermocouple Calibration DeviceGe Jiquan Liu Hong Meng Fanwei Su Caixia0引言温度传感器是一种感温元件,是一次仪表。它直接测量温度,并把温度信号转换成热电动势信号,通过电气仪表(二次仪表)转换成被测介质的温度。传感器使用前应保证周期校准合格。超短型温度传感器因其外形短小,结构复杂,使用常规校准装置无法校准,国内尚无计量部门有此型传感器校准能力,许多使用单位对短型传感器的管理不做周期校准,因此,一般在短型传感器制作前,只校准热电偶丝或选取准确度等级高一等级的热电偶丝,用这种方法进行短型传感器的质量控制。此质量控制方法既不符合检定规程要求,也不满足现场使用要求,在短型传感器制作的过程中也可能损坏偶丝,影响传感器的质量或示值误差。因此需要研制一种新型的超短型传感器校准装置完成超短型温度传感器校准工作。1短型热电偶校准装置短型热电偶校准装置由...  (本文共2页) 阅读全文>>

《机电信息》2016年17期
机电信息

浅谈验证用热电偶校准的实施

0引言在现代无菌制剂生产企业,灭菌设备的验证与再验证是一项常规必做的工作,它的起源可以追溯到20世纪70年代初期终端灭菌工艺失败的案例。到了1980年,验证已成定局,制药企业开始组织其活动,原来开展这些活动的临时小组被专门的验证团队所代替。这个团队在不同组织内的责任和范围各有不同,但其目的就是为企业的产品与工艺提供必要的验证,也就是建立文件化证据,提供有力保证,确保特定工艺能始终如一地生产出符合预定的质量标准与质量属性的产品。以脉动真空灭菌柜的验证为例,它包含了一系列的测试内容,比如:先决条件、标准操作规程的确认、验证设备的确认、热电偶的前/后校验、空载热分布的确认、织物负载热穿透性,微生物挑战、液体负载热穿透性,微生物挑战的确认、器具干燥效果的确认等等。作为验证用热电偶,还专门提出了验证前/后校验的要求:前校验可确保所有热电偶正常工作,并用已知的标准比较每一个温度读值;后校验则可确保验证所记录的数据是有效的。由此可见,作为温度...  (本文共6页) 阅读全文>>

《航空测试技术》1982年02期
航空测试技术

热电偶校准风洞设计中的几个问题

高温高速气体的温度测量,由于环境的相互热辐射;传威器支座的相互热传导,气体的功能不能完全恢复(即便在稳定条件下,热接点的温度也与气体的实际温度不同),因此,建立热电偶佼准风洞是十分必要的。我们曹为某工厂设计过一台热电偶校准风洞,为了和兄弟单位交流经验,现将设计中考虑的几个问题作一介绍。 一、总体布局 总体布局取决于加温器的好坏,加温器设计得好,出口截面温度场均匀,总体布局也简单得多、如加温器出口截面温度场分布不均匀,总体布局就耍复杂一些。目前我们尚找不到理想的加温器,这次采用了“西工大”设计的蒸发型双腔燃烧室作加温器,出口截面在850.C时温度误差约为士50OC,改变出口温度是利用改变燃烧室的余气系数来实现的;由于温度变化范围较大,个别情况还保证不了上述误差,所以我们在设计时结合过去设计风洞的经验采取了下列措施,用以降低试验段截面的犷思度误差。 1)在稳定段前加一旁路,当燃烧室在某一余气系数a值燃烧时,滥度场最好,就将该值固定,...  (本文共2页) 阅读全文>>

《山东工业技术》2016年03期
山东工业技术

基于热电偶校准的精确校验炉设计思考

铠装热电偶,是一种比较成熟的应用科技,提高铠装热电偶的精准度,其基本思路应该是确保铠装热电偶校准的精准度更加符合规范要求,在设计思路上应尽可能减少对热电偶校准的不确定性因素,从而提升热电偶校验炉的精准度和紧密性。由基于此,精准度校验炉的设计思路首先必须要求有比较宽泛的均匀温区,从而保证也有比较宽泛的插孔温度温区,同时也提升了温度的稳定性。1旧有校验炉问题分析传统使用的校验炉炉体基本是管状卧的加热结构,对加热炉的加热过程是呈段性的、制成距离不相等的加热丝进行加热的一个过程。其存在着严重的缺陷。主要表现为等温区距离太短,从而导致热电偶向外导热与实际温场产生误差,而且校验炉自身对外的传热也会产生相应的误差,进而导致叠加误差,最终导致较大的误差检测结果,在实际实验操作中,经常表现为校验炉与各个被检热电偶间的热交换状况不一致,热平衡点在不同的时段存形成数据差异。1.1温度场的影响温度场的数据,是校验炉与被检热电偶的之间的第一参考数据。是两...  (本文共1页) 阅读全文>>

《航空精密制造技术》2015年03期
航空精密制造技术

一种简便易行的实验室间热电偶校准能力的评定方法

二等标准铂铑10-铂热电偶的校准能力对实验室进行能力评定和保证热电偶量值传递的准确性、一致性显得尤为重要。本文依据在二等标准铂铑10-铂热电偶能力验证中多个实验室提供的数据,给出了一种简便易行的实验室间热电偶校准能力评定的方法,供同行使用。1精密度定义精密度是在规定的条件下,独立测量结果间的一致程度。对不同的规定条件,有不同的精密度的度量。最重要的精密度的度量是重复性和复现性。本文所涉及的精密度是指通过数理统计的方法确定的重复性方差、复现性方差、实验室间方差,应用这三个统计数据,各单位可以自行开展实验室间校准能力评定。2数学模型当参加实验室P→∞时,从统计学角度建立数学模型确定精密度,即重复性方差、复现性方差、实验室间方差。其中,复现性方差、实验室间方差和重复性方差之间的关系[2]如下:(1)重复性方差的表达式如下:(2)式中,n1——第i个实验室重复测量次数;——第i个实验室重复性方差(当i10时用极差法计算,当i≥10时用贝...  (本文共4页) 阅读全文>>