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基于双热电偶校准ECR-PEMOCVD薄膜生长温度分析研究

引言宽带隙的Ⅲ族GaN基氮化物包括AlN、InN及其固溶体,它们直接带隙能量在6.2eV(AlN)到0.8 eV(InN)[1]之间连续可调,是制备蓝绿光到紫外光波段的发光二极管(LED)、激光二极管(LD)等光电器件的首选材料[2,3]。对于半导体GaN基氮化物薄膜生长工艺有多种如:MOCVD、MBE[4]、MOVPE[5]等等,本文所提及的是电子回旋共振等离子体增强金属有机化学气相沉积(ECR-PEMOCVD),它特别适合半导体薄膜和陡峭异质结的生长[6]。薄膜材料生长,温度是一个很重要的参数,在薄膜制备中较流行的“高温清洗,低温氮化”,这足以说明温度的重要性。由于薄膜生长的真实温度与设定温度往往是有较大差别,所以在薄膜改性实验中,要注意它们间的对应关系。另外,薄膜生长系统ECR-PEMOCVD时常要进行一定的维修,或维修前后,薄膜生长的环境温度是有变化的,也要进行温度的校准。对于两者温度的校准很少有文献进行报道。在此,本文...  (本文共4页) 阅读全文>>

《航空测试技术》1982年02期
航空测试技术

热电偶校准风洞设计中的几个问题

高温高速气体的温度测量,由于环境的相互热辐射;传威器支座的相互热传导,气体的功能不能完全恢复(即便在稳定条件下,热接点的温度也与气体的实际温度不同),因此,建立热电偶佼准风洞是十分必要的。我们曹为某工厂设计过一台热电偶校准风洞,为了和兄弟单位交流经验,现将设计中考虑的几个问题作一介绍。 一、总体布局 总体布局取决于加温器的好坏,加温器设计得好,出口截面温度场均匀,总体布局也简单得多、如加温器出口截面温度场分布不均匀,总体布局就耍复杂一些。目前我们尚找不到理想的加温器,这次采用了“西工大”设计的蒸发型双腔燃烧室作加温器,出口截面在850.C时温度误差约为士50OC,改变出口温度是利用改变燃烧室的余气系数来实现的;由于温度变化范围较大,个别情况还保证不了上述误差,所以我们在设计时结合过去设计风洞的经验采取了下列措施,用以降低试验段截面的犷思度误差。 1)在稳定段前加一旁路,当燃烧室在某一余气系数a值燃烧时,滥度场最好,就将该值固定,...  (本文共2页) 阅读全文>>

《中国计量》2011年11期
中国计量

热电偶校准参考端温度的合理选择

一、规程对参考端温度的规定对仪器示值的检定或校准,是将仪器与一个准确度更高的标准直接或间接的比较过程。仪器的示值特性可以描述为y=f(x1,x2,……,xn)式中:y——输出值;x1,……,xn——明显影响输出值的输入参数。作为评价仪器合格与否的检定工作,必须对x1,……,xn所有输入参数在标称工作范围内的有效组合下进行测量,才能评价仪器是否合格或超差。如果对每个输入参数xi取ki个检测点,则总共有k1,k2,……,kn个输入参数的组合,显然多元输入参数仪器的检测工作量是很大的,减小ki值或对一些输入参数取固定值,可以简化检测工作,但同时也会带来评价不全面的问题。在不考虑不均匀电势等因素影响的情况下,理想热电偶的热电势e是其两端温度的二元函数,即e=f(t,tr)。式中,t和tr分别是测量端温度和参考端温度。显然,只有在tr确定的情况下,e和t才有确定的关系,才便于测量温度。另外,热电偶的示值误差是以分度表的数据为基准的,而分度...  (本文共3页) 阅读全文>>

《中国计量》2006年04期
中国计量

二等标准铂铑10-铂热电偶校准能力验证

为真实地反映省计量院(所)、国防区域计量机构所具备的二等标准铂铑10-铂热电偶的校准能力,保证热电偶量值溯源的准确性,中国实验室国家认可委员会特组织了能力验证工作,由中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所负责具体实施。实施机构成立工作组,于2005年1月~11月进行了此项能力验证工作。一、能力验证过程1.参加实验室情况共有32家实验室参加此次二等标准铂铑10-铂热电偶校准能力验证,包括部分省市计量院(所)、国防科技工业区域校准实验室以及其他行业(电力、冶金等)具有二等标准铂铑10-铂热电偶校准能力的校准实验室,涉及全国范围内23个省、自治区、直辖市。32家实验室中,手动检定系统和自动检定系统各16家。2.依据文件本次能力验证计划按照ISO/IEC指南43-1997《利用实验室间比对的能力验证》以及JJG75-1995《标准铂铑10-铂热电偶》检定规程进行。3.样品的选择和检验由于能力验证的持续过程比较长,试样的稳定性...  (本文共2页) 阅读全文>>

《计量技术》2001年01期
计量技术

廉金属短型热电偶的校准及不确定度评定

廉金属短型热电偶(以下简称热电偶)具有短小紧凑、占用空间小、造型上能与测控温装置相协调等特点,有比较广泛的用途。但对于长度在200mm~350mm的廉金属短型热电偶还没有现成的检定规程,为此我们结合热电偶的实际使用情况,摸索出一种校准方法。一、检定炉温场有效工作区域选取校准热电偶时,检定炉的选择是非常关键的一个环节,我们采用卧式热电偶检定炉,炉体总长300mm,炉膛内炉管的内径为40mm,短时最高温度1100℃,最高温度出现在检定炉轴向几何中心,偏离几何中心不大于10mm,均匀温场为在长度不小于30mm,半径为15mm范围内,任意两点间温差不大于1℃。根据热电偶校准时,要能够达到装炉准确度,在检定炉均匀温场中,取炉管内腔半径为12mm,沿轴线与最高温度中心偏离不大于5mm这一段,作为温场的有效工作区域,则该区域内温差1×5/30=017℃。二、校正条件、项目和方法在校正时,标准器采用二等标准铂铑10-铂热电偶(以下简称标准热电偶...  (本文共2页) 阅读全文>>

《测控技术》1993年04期
测控技术

计算机控制热电偶校准系统

l‘概述: 标准热电偶校准属于精密计量工作,而且是在动态状况下进行。标准热电偶的检定是温度的准确测量和可靠控制保证,因此要求标准装置有高精确性和高可靠性。计算机科学的发展.不但给计量工作提出了越来越高的要求,也为计量标准和计量工作的进一步提高和发展提供了必要的条件,为了提高标准计量系统的自动化程度,改变原来计量标准手动系统的现状,我们研制了以微计算机为控制中心的二等标准热电偶铂锗 10一铂计算机辅助校准系统.并研究了相应的自动测试技术。Ll系统的主要技术指标: ①电测设备 分辨率:毛0.lov 精度:琪士0.02% ②多点转换开关’寄生电势:R[’(的一},,、.,.易、 (八,J芳尸、”夕卞八z乙Je、介夕 ._O +弃‘,,仁户(n)一。(n一刃)〕。‘n)短R 式中Ko.瓦,,凡,(j一0,l,2…)为这些参数在三个温程中不同的值,R为积分分离值,其中R值的大小.要视不同的控温对象和凡夕,K.J.从J值综合考虑而定。 系统...  (本文共5页) 阅读全文>>