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IC真实缺陷的边界提取和缺陷尺寸与形状的表征

1 引 言IC制造中电路规模的增加和器件特征尺寸的缩小,使产品成品率成为一个重要问题[1],它直接与IC工业发展紧紧相关.在很长一段时间里,硅片上的微小颗粒缺陷成为IC制造中影响成品率的一个主要障碍[2],由此影响成品率问题占总成品率的70%以上.研究从布线中抽取多余物缺陷(多余物缺陷指的是引起电路短路或断路的缺陷)可解决微小颗粒缺陷对IC的影响.最初抽取的多余物缺陷仅用于成品率的估计,近几年来,其它方面的应用已经出现[3—5].有关缺陷的自动分析与形貌描述及其分类研究还可用在制造工艺的优化、测试版图的生成等方面[6—8].目前,对缺陷的分析大多集中在缺陷模型的研究上,如把缺陷轮廓假设为圆形的[9—11],或是正方形的[1].该过程虽然简单,但在缺陷引起故障概率的预测方面会引入很大误差(实际缺陷的形貌是多种多样的,图1给出了一幅真实缺陷的形貌图).在文献[5]中对由布线的末端及弯曲部分引起的电路故障进行了详细讨论,对多余物缺陷的...  (本文共6页) 阅读全文>>

《微电子学》2000年06期
微电子学

IC离子注入工艺的薄层电阻等值图监控

1 引 言薄层电阻等值图能清楚地显示出整个面上的电阻分布情况 ,因此 ,在世界先进的集成电路工业中已将这种等值图列为控制硅片衬底、外延、扩散、离子注入、吸杂、退火等各工艺质量的手段。像国外一些颇有名气的半导体公司可以没有或者不常用扩展电阻和 C- V等其它仪器测量手段 ,但测薄层电阻等值图却是不可缺少的。事实上 ,上海几家中外合资半导体公司也就是用它来对各道工艺质量进行有效的监控。采用等值图来监控离子注入等工艺的质量确实有效、实用。这里 ,将国内外离子注入工艺中的一些常见的典型监控问题作一些介绍。2 仪 器我们采用的仪器是美国 Prometrix公司制造的RS35Resistivity Mapping System。它的测试原理是用四探针二方位自动测试与修正 ,这要比用四探针一方位测试精度高得多 ,见图 1和表 1。图 1  4探针 2方位测试原理表 1 一方位和二方位薄层电阻测试比较测量点一方位Ω /□二方位Ω /□1171....  (本文共5页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2000年04期
电子工业专用设备

加速发展我国IC专用设备的一点建议

当今 ,世界正在步入新经济时代 ,所谓“新经济”是指以数码知识、网络技术为基础 ,以创新为核心 ,由新科技所驱动的可持续的经济。实践表明 ,数字化、国际互联网和电脑等新技术推动了高科技的发展 ,促进了世界经济的高速增长。美国是新经济的发源地 ,从 1 992年起 ,美国经济已连续 90多月保持增长的势头 ,正如美国联邦储备委员会主席格林斯潘所说 :“不是运气的原因 ,而是新经济带来了美国的繁荣”。众所周知 ,IC是数字化、国际互联网和电脑的基础产品。若从1 96 5年我国研制成功第一块IC算起 ,至今已走过了 35个年头。如今我国IC产业已初具规模 ,满足国内IC市场小部分需求。进入90年代后 ,我国IC产业一直处于高速发展之中 ,1 991年IC产量 1 0 9亿块 ,1 995年5 42亿块 ,1 999年 2 2 9亿块 ,1 991~ 1 995年年均增长率 46 32 % ,1 995~ 1 999年年均增长率...  (本文共4页) 阅读全文>>

《国外铁道车辆》2000年03期
国外铁道车辆

芬兰IC双层客车投入运营

芬兰铁路目前正在 1989年投入运营、并已取得巨大成功的城间运输线路上投入了 4 2辆双层客车 ,以扩大其运输能力。芬兰国家铁路局 (VR) Ltd目前每天单方向增加 8列辅助列车 ,为达到开拓白天旅游商业市场的目的 ,大多数列车早晨驶入赫尔辛基 ,晚上返回。IC列车开始投入运营时 ,主要目的是运输商务人员。由于该列车包括餐车和只有有限设备的二等车 ,因此形成为二流服务。双层客车打算增加二等铺位。自 1997年从 Transtech订购车辆以来 ,一直以每月提供 2辆车的速度交车。至 1999年 4月 ,已有 2 2辆车投入运营 ,剩余的车辆到 2 0 0 1年中期交付。 1998年年底订购的 50辆车 ,将由奥坦迈基的生产线制造 ,而且芬兰国家铁路局又订购了 50辆。有 2种型式的车 ,1种为 70 Ed型车 ,有 113个二等座位 ;另 1种为 2 2 Eds型服务车 ,该车为残疾乘客和带孩子的家庭提供服务。目标是开发 1种...  (本文共2页) 阅读全文>>

《广东自动化与信息工程》2000年04期
广东自动化与信息工程

非接触式IC卡在高速公路收费系统中的应用

1概述写范围,实现动态读写。4)抗干扰性强,灵敏度高,卡与读写器龌微电子技术的发展,IC卡的技杯通过无线酬,可在恶劣的环境下操作,同样断成熟,目前已广泛应用于金融、崛、电信、可通过非金属材料,即位妨杠在有几个硬币的钱医疗、保险等各个行业。近年来抛公路发展包中仍可准确读写。腿,辄的不鹏多及髓的撇,对姚5)具有多种通讯距离,卡片与读写器之管理提出了越来越高的要求,国内许多晌公间的读写距离从几米到几厘米。路开通了利用磁卡、IC卡的收费系统,来取6)安全性高,每张卡的序列号是唯一的,代传统的票据收费系统,但4隧蹦IC卡以制造商在产品出厂前将此序列号固化在卡的其磁卡和接触式IC卡无法比拟的优点,一经芯片中,不可再更改。使用时,非接触式IC问雌受到广泛的注意,腿得到推广。卡与读写檄间进行三次相互认证,通讯过程2非接触式*卡的技术特点中所有数据均加密以防止信号截取。2.1非接触式比卡忧点刀可实现一卡多用,每一张卡片的存储1)4删式n卡与读写默...  (本文共3页) 阅读全文>>

《湖南有色金属》2000年01期
湖南有色金属

非接触IC卡考勤管理系统的设计

1引言现代企业不仅需要现代化的设备,先进的生产技术,更需要一个强有力的企业管理制度及其相应的实现手段,以适应迅猛发展、千变万化、激烈竞争的市场。在纷繁的企业管理工作中,员工考勤是其最基本然而又是最重要的工作之一,采用传统的考勤方法,不仅准确性差、信息滞后,更需要许多人专职处理、统计,这已不能满足当今信息社会企业管理的需要。因此,计算机实时考勤管理逐步成为企业考勤管理的必然选择。2非接触IC卡在计算机实时考勤管理系统中,员工卡过去广泛使用条码卡、磁卡或接触式IC卡,但在使用过程中发现条码卡、磁卡信息容量太少,不能满足“一卡多用”的需要,而且首次刷卡考勤成功率不是很高。尤其是磁卡,由于信息是记录在磁性材料上,所以当它通过强磁环境时,信息将可能发生丢失。接触式IC卡虽然可以满足“一卡多用”,但是在刷卡考勤时,卡片和考勤机之间需要接触,常因接触不良造成刷卡失败。非接触IC卡很好地克服了条码卡、磁卡、接触式IC卡所存在的问题,因为非接触式...  (本文共2页) 阅读全文>>