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动态被动阀微泵的设计优化和制造

研究的动态被动阀微泵是一种基于微机械技术的振膜型无阀微泵。相对于有阀微泵而言 ,有更高的工作频率和可靠性 ,结构简单 ,加工制造的成本比较低 ,更容易满足实际应用中的各种要求。讨论了动态被动阀的工作机理 ,结  (本文共4页) 阅读全文>>

《半导体情报》2001年02期
半导体情报

微机械技术与市场共同发展

对目前到 2 0 0 5年的微机电系统的技术和市场发展做了初步的预测 ,详...  (本文共3页) 阅读全文>>

《机械工艺师》1998年07期
机械工艺师

微机械技术的兴起及其制造

一、前言80年代后期,微电子机械系统诞生了,简称为MEMS(MicroElectronMechnicalSystem...  (本文共3页) 阅读全文>>

《医疗保健器具》1998年03期
医疗保健器具

微机械技术应用于医疗工程的研究

一、微机械的发展和定义 微机械是本世纪出现的一项高新技术,它的发展是建筑在下列三个支柱技术的基础上,即(1)以VLSI为代表的半导体微细加工技术;(2)微检测和控制技术;(3)微系统的设计方法论...  (本文共3页) 阅读全文>>

《现代情报》1940年20期
现代情报

高科技中国际微机械技术的崛起

高科技中国际微机械技术的崛起肖英奎,崔占海,于洪岩80年代后期,国际高科技领域内出现了一个值得重视的发...  (本文共1页) 阅读全文>>

《中国科技论坛》1950年10期
中国科技论坛

微机械技术及其发展

微机械技术及其发展谢国章一、概述微机械是指尺寸在1毫米以下的微型机械。它主要用硅材料和半导体工艺制成,...  (本文共4页) 阅读全文>>