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一种新的SOI射频集成电路结构与工艺

立足于与常规CMOS兼容的SOI工艺,提出了电子束/I线混合光刻制造SOI射频集成电路的集成结构和工艺方案。该方案只使用9块掩模版即  (本文共3页) 阅读全文>>

《红外》2004年06期
红外

单片集成于SOI上的光电探测器

介绍了SOI基片的制作,和在SOI上集成光电二极管和电...  (本文共9页) 阅读全文>>

权威出处: 《红外》2004年06期
《电子器件》2006年03期
电子器件

基于SOI衬底的一种新型磁敏晶体管研究(英文)

设计了一种基于SOI衬底且由新型磁敏晶体管组成的磁敏测量电路。理论分析了n+-π-n+晶体管基区长度大于载流子有效扩散长度Leff时...  (本文共4页) 阅读全文>>

《激光与红外》2001年04期
激光与红外

SOI光波导开关研究进展

SOI光波导是硅基光波导器件的基础 ,也是实现其它集成光学器...  (本文共4页) 阅读全文>>

《飞通光电子技术》2001年02期
飞通光电子技术

SOI脊形光波导结构参数的研究

通过对SOI脊形光波导的模式的理论分析与计算,得出了在给定内...  (本文共2页) 阅读全文>>

《红外与激光技术》1988年04期
红外与激光技术

新型SOI结构固体摄象器件之研制

本文介绍了新型SOI(硅绝缘膜)结构,用来解决电荷耦合器件(CCD)结构无法解决的拖尾问题(局部强光照射时,在画面的...  (本文共5页) 阅读全文>>