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光刻机:方寸之间,创造精彩

当今信息社会,显示屏已走进千家万户,手机、电脑已然成为人们日常生活、工作、学习中不可或缺的一部分。然而大多数人并不知道显示屏其实是靠光刻机生产出来的。光刻机又称曝光机,  (本文共3页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2017年04期
电子工业专用设备

全自动光刻机对准系统的设计与研究

对全自动光刻机的对准系统进行了分析与研究,探讨了...  (本文共4页) 阅读全文>>

《机床与液压》2017年08期
机床与液压

我国成功研制新型中紫外直接光刻机

一种新型的中紫外直接光刻机由中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队在国内研制成功。该设备采用特有的高均匀、高准直中...  (本文共1页) 阅读全文>>

《今日电子》2017年05期
今日电子

我国研制成功新型中紫外直接光刻机

近日,一种新型的中紫外直接光刻机由中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队研制成功。该设备采用特有的高均匀、高准直中紫外照明技术,结合光敏玻璃材料,实现基...  (本文共1页) 阅读全文>>

《光学学报》2019年12期
光学学报

基于差分进化算法的光刻机匹配方法

提出一种基于差分进化算法和微反射镜阵列(MMA)光源模型的光刻机匹配方法。加入MMA光源模型,利用差分进化算法优化微反射镜光斑分布,以实现光刻机匹配。与通常用于自由照明系统的光刻机匹配方法相比,本方法能直接优化MMA参数,有...  (本文共10页) 阅读全文>>

《时事(高中)》2019年02期
时事(高中)

光刻机:芯片制造的刻刀

大家知道,现在的智能化、信息化设备离不开尖端芯片技术。没有芯片,就造不出现代计算机和手机,而没有光刻机,就不容易造出好的芯片。光刻机是全球最精密的仪器,其技术难度是全球公认的。它的基本原理,就是用极细的激光在芯片底板上开凿出电...  (本文共1页) 阅读全文>>