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变形阻力试验机位移测量系统的分析

变形阻力试验机主要用于研究金属在常温或高温状态、高速变形条件下的变形与变形力的关系,变形速度以及金属在塑性变形时温度等因素对变形力的影响,从而确定金属在某种条件下的变形抗  (本文共5页) 阅读全文>>

《传感技术学报》1989年03期
传感技术学报

用光学扫描器构成的新型精密位移测量系统

本文研究由位移传感用的光学扫描器、简单光学系统、栅距很大的粗线纹反射式光栅尺(λ=0.635mm)和信号处理电路等构成的新型精密位移测量系统。对光学扫描器作了简要...  (本文共6页) 阅读全文>>

《低温与超导》1989年04期
低温与超导

大量程高精度电容位移测量系统及其在低温测试中的应用

本文详细分析了一种与单片微机相结合的大量程高精度电容位移测量系统的原理,提出了一个“...  (本文共9页) 阅读全文>>

《光学工程》1989年06期
光学工程

炫耀光栅位移测量系统的精度试验

炫耀光栅位移测量系统采用尤学倍增与电子细分相結合的方法,使系统的分辨率达到0.4微米。与金属线纹尺比较测量,...  (本文共5页) 阅读全文>>

《仪器仪表用户》2020年05期
仪器仪表用户

光栅尺位移测量系统热态特性分析

以光栅尺位移测量系统为研究对象,考虑直流电机和激光电磁热等热源对测量光栅以及读数头等光栅尺位移测量系统主要部件的影响,应用COMSOL有限元分析软件对测量光栅和读数头镜组进行了热-结构耦合分析。结果表明:测量...  (本文共5页) 阅读全文>>

广东工业大学
广东工业大学

基于神经网络和机器视觉的光栅位移测量系统开发

微电子产品总体尺寸小型化趋势,对其零部件的尺寸要求也越来越小,在生产和组装这些零部件过程中,对集成电路、超高精度的加工、精密测量仪器等众多领域对加工精度的要求不断提高,与之相应的微电子制造装备对精密测量精度的要求也随着提高。因此,对微电子制造装备的位移测量系统,提出了更高速度和高精度的要求。本文提出了一种基于神经网络模型的创新性光栅尺图像测量系统。该系统可以有效地克服传统光栅测量的光栅制造精度的限制(通常20um)并且通过神经网络模型算法极大的提高测量反馈的运算速度。获得在精密测量中以较低的分辨率,位移测量精度更高。首先,从光栅尺工业应用现状和光栅尺研究现状两方面,分析国内外光栅尺研究现状。光栅尺位移测量系统存在高速度与高精度相矛盾,以及纳米级的分辨率,最高精度仅能达到微米级,即分辨率与测量精度之间存在较大的误差。针对上述问题,本文基于神经网络理论,通过数字图像技术,来消除精密位移测量系统的制造误差和非线性系统的数学建模误差。其...  (本文共88页) 本文目录 | 阅读全文>>