分享到:

新型液态光致抗蚀剂

液体光致抗蚀剂由活性齐聚物、活性单体、颜料、添加剂和光敏引发剂组成。通过分析各组分的选 择及其作用和性能,  (本文共3页) 阅读全文>>

权威出处: 《印染》2005年05期
《感光科学与光化学》2007年01期
感光科学与光化学

水溶性光致抗蚀剂研究进展

本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年...  (本文共11页) 阅读全文>>

《重庆三峡学院学报》2001年02期
重庆三峡学院学报

正性光致抗蚀剂的合成与应用

正性光致抗蚀剂,能在短时间的光照下分解为可溶性物质,被广泛应...  (本文共2页) 阅读全文>>

《化工时刊》1988年11期
化工时刊

介绍一种新的光致抗蚀剂

一、引言随着大规模集成电路(LSI)向着超大规模集成电路(VLSI)发展,即要求每一基片上集成十万个元件以上...  (本文共4页) 阅读全文>>

《河北工学院学报》1988年03期
河北工学院学报

耐热感光高分子的合成与应用

耐热感光高分子化合物是功能高分子材料中很有前途的一类新品种。本文...  (本文共8页) 阅读全文>>

《福建师范大学学报(自然科学版)》1988年01期
福建师范大学学报(自然科学版)

高感度、高分辨率聚酯型光致抗蚀剂—聚呋喃丙烯叉丙二酸-1,3-丙二酯的研制及其应用

以改进后的高分子反应法制得了聚呋喃丙烯叉丙二酸-1,3-丙二酯,合成反应时间短,光敏...  (本文共5页) 阅读全文>>