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磁控溅射司太立合金簿膜

一、引言在冷凝式汽轮机中,处于较低干度下运行的大功率汽轮机末几级叶片,由于湿蒸汽中微小水滴对高  (本文共3页) 阅读全文>>

《激光与红外》1987年03期
激光与红外

金属薄膜的S枪磁控溅射淀积

本文描述了磁控溅射系统以及S枪的放电特性,测试了基板静止与转动两种情况下膜厚均匀性分布,测量了Ag、...  (本文共5页) 阅读全文>>

《北京工业大学学报》1988年03期
北京工业大学学报

铝合金基板上磁控溅射离子镀氮化钛膜层的研究

对自行研制的一台磁控溅射离子镀实验裴置的放电特性进行了测试,并用该装置在硬铝(LY16)基板上进行了沉积氮化钛膜层的工艺试验,系统地研究了各工...  (本文共7页) 阅读全文>>

《玻璃》1988年03期
玻璃

高生产能力的在线平面磁控溅射系统

平面磁控溅射法在大型高产的簿膜沉积系统中应用日益增加,本...  (本文共6页) 阅读全文>>

权威出处: 《玻璃》1988年03期
《金属学报》1988年06期
金属学报

Ni基体磁控溅射离子镀Al膜的电镜观察

利用横截面电镜样品,对Ni基体磁控溅射离子镀Al膜进行了透射电镜观察。研究了不同工艺条件下镀膜的组织形态,相结构以及相分布。镀覆5...  (本文共4页) 阅读全文>>

《真空》1989年01期
真空

复合电磁磁控溅射靶

复合电磁靶是由两个电磁铁分别产生两个圆环状跑道磁场的新型磁控靶。两个跑道磁场的水平磁场均可连续调节,对应两个跑道磁场分别...  (本文共6页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1989年01期