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闭循环制冷机低温泵的调试

低温泵利用低冷凝和捕集来抽气,它不给被抽容器带来污染,因而是十分清洁的泵。然而早期的低温泵需用液氮或昂贵的液氮来制冷,这就限制了它的应用。现代的低温泵用闭循环小型制冷机来获得抽气所需的低温,完全省去了液氦和液氮,这就大大降低了运转成本。此外,制冷机使用的压缩机寿命较长,一般在运转9000至10000小时后只需花费半小时左右简单地更换一下吸收器即可继续工作,因此,现代的低温泵得到了日益广泛的应用,如用于要求清洁的镀膜、溅射以及超高真空系统中。 要获得超高真空,通常需对真空系统进行烘烤,现代的低温泵由于其结构材料的限制,烘烤温度不能超过100℃,即使在这样的温度下烘烤,低温泵的本底压强也可达到1 .3xlo一’Pa(10一’”托)“,。 由于研制光发射产额谱仪超高真空系统的需要,我们进口了一台美国CTI公司的CT一8型超高真空低温泵。其抽速指标为:空气1 500升/秒、水汽4000升/秒、氢2000升/秒和氢12.0升/秒。泵的口径...  (本文共4页) 阅读全文>>

《真空》1986年04期
真空

一种新型结构的致冷机低温泵

一、引自 对于一只实际应用的致冷机低温泵,其有效的抽气效率可定义为(1)。 泵口实测的容积抽速 y“家d最大理论容积抽造\IJ 在分子流范围内,V又可表示为式中,a为人射气体分子的传输几率,Cc为凝聚(或吸附)系数,Ce是已被凝聚(或吸附)的气体分子的再蒸发系数,Tg、T。分别为被抽气体和低温表面的温度(K),P,是被抽气体的压强(托),P。为在T。下被抽气体的蒸汽压强或吸附平衡压强。对于不同种类的被抽气体,y值是不同的。对于易凝性气体 H。O,CO。等,在第一级冷阵温度确定的情况下,a、Cc、Ce是确定的,因而,也是确定的;对于可凝性气体N。,O。和Ar等,在一、二级冷阵温度确定的情况下,V值主要由一级冷阵的a值所确定;对于非凝性气体H。,lIe和Ne,y值不但取决于一、二级冷阵的a值,而且还取决于冷阵对热辐射的屏蔽效率,这是因为对热辐射的屏蔽效率将直接影响到Cc、Ce、T。和凡。必须指出的是,a值的大小和对热辐射的屏蔽效率的...  (本文共6页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1986年04期
《电子器件》1987年01期
电子器件

致冷机低温泵中的残气分析

在粘有吸附剂、温度处于10~20K的二级致冷式低温来中,第二级冷头的温度变化所引起的抽气特性的改变,目前尚未得到充分的认识和研究。作者通过改变第二级冷头的温度来分析泵中的妨余气体谐峰,从而了解和分析不同温度下某些气体的拙气情况和规律,得到了满意.力结果,这对低温泵工作温度的选择和抽气特性...  (本文共2页) 阅读全文>>

《电子器件》1987年01期
电子器件

一种新型结构的致冷机低温泵

致冷机低温泵的抽气效率主要取决于冷阵的结构,为了提高抽气效率,在结构设计上所需采取的措施往往是互相矛盾的,难以协调,致使目前的致冷机低温泵对H。、H。、N。这类非凝性气体的抽气效率都较低,这一弱点对小口径致冷机低温泵尤为突出。 本文着重分析了冷阵结构对致冷机低温泵抽气效率和其它性能的影响因素,提出了结构设计的基本原则,介绍了作者依此而设计出的一种新型冷阵结构的致冷机低温泵。结构设计是借助了蒙特卡洛方法而完成的。作者在口径为中15o毫米的致冷机低温泵中使用了这种结构,进行了性能测试,实验结果同理论计算值基本一致。 测试结果表明,该泵对N。...  (本文共2页) 阅读全文>>

《真空》1988年01期
真空

用于科研和工业生产的低温泵

前言 低温泵在现代真空技术中起很重要的作用。没有这种真空泵在大的和很大的研究设施及工业生产方面获得很多成功将是不可想象的,例如核聚变研究,粒子加速器,空间研究和现代半导体技术方面。在这些重要方面,结构不同的低温泵在解决有关的真空问题上起着决定性的作用。 二十五年来各种低温泵单独地被使用,特别是用以获得超高真空。那时这些泵的广泛使用受到限制,主要是由于相当麻烦的冷却过程及由此造成必须使用昂贵的液氦。随着新的冷却方法的研究和改进,这个问题变得简单了,从而现在低温泵在科研和工业真空设备方面成为必然的成份。低温泵的应用还在大量增加的主要原因如下: (a)在很多科研问题和工业加工方面,要求极清洁的、无碳氢化合物的真空。 (b)在低温泵技术方面,主要要求温度控制在 4~25K范围内。现在安全地、经济地获得这样的温度并不困难。 (C)低温泵的较高比抽速,适合要求限定空间内具有很高抽速的各种情况。 低温泵的主摹机理 低温泵为产生真空提供最直接的...  (本文共6页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1988年01期
《真空》1989年03期
真空

致冷机低温泵中光屏蔽问题的探讨

一、引言 低温抽气技术是目前获得洁净真空环境的一种快速而有效的方法。随着20K温度下,致冷量近10瓦的两级高可靠小型致冷机的日臻完善,致冷机低温泵得到迅速发展,已成为一种获得清洁、无油污染的真空获得设备。 致冷机低温泵是由致冷机提供冷源,同液氮、液氦冷凝泵相比,致冷机低温泵的致冷客量是有限的,致冷机的各级致冷温度受泵的热负载所限。所以对于这种泵,减少热负载显得十分重要。计算表明:对于相同面积的20K低温板。在300K室温辐射照射下,有无 77K的防辐射障板,其功率损耗相差200多倍,泵的抽违约相差2一4倍。所以在设计致冷机低温泵时,在低温表面与室温泵壁之间要设置防辐射障板来减少低温表面的热负载。致冷机低温泵的典型结构如图1所示。 二、一级冷阵设计中对光屏蔽问题的考虑 致冷机低温泵的热负载主要有三个来源:(1)被抽容器和泵壁的热辐射;(2)被抽气体分子的冷凝热和吸附热;(3)气体分子的热传导。由于低温泵通常在高真空和超高真空状态下...  (本文共6页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1989年03期