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闭循环制冷机低温泵的调试

低温泵利用低冷凝和捕集来抽气,它不给被抽容器带来污染,因而是十分清洁的泵。然而早期的低温泵需用液氮或昂贵的液氮来制冷,这就限制了它的应用。现代的低温泵用闭循环小型制冷机来获得抽气所需的低温,完全省去了液氦和液氮,这就大大降低了运转成本。此外,制冷机使用的压缩机寿命较长,一般在运转9000至10000小时后只需花费半小时左右简单地更换一下吸收器即可继续工作,因此,现代的低温泵得到了日益广泛的应用,如用于要求清洁的镀膜、溅射以及超高真空系统中。 要获得超高真空,通常需对真空系统进行烘烤,现代的低温泵由于其结构材料的限制,烘烤温度不能超过100℃,即使在这样的温度下烘烤,低温泵的本底压强也可达到1 .3xlo一’Pa(10一’”托)“,。 由于研制光发射产额谱仪超高真空系统的需要,我们进口了一台美国CTI公司的CT一8型超高真空低温泵。其抽速指标为:空气1 500升/秒、水汽4000升/秒、氢2000升/秒和氢12.0升/秒。泵的口径...  (本文共4页) 阅读全文>>

《低温工程》1940年40期
低温工程

带小型制冷机的低温泵

带小型制冷机的低温泵[日]鳍崎有摘要介绍了用小型制冷机冷却的低温泵的抽气原理及基本结构,同时还介绍了低温泵的一些应用。低温泵一般都采用二极G-M循环或改进的索尔维循环制冷机。第一级冷头冷却防护板和冷凝水蒸汽的辐射屏蔽,防止对低温板的热辐射;低温板用第二级冷头冷却,除Ne、H2、He被活性炭吸附外,它可冷凝其余的大部分气体。低温板的抽气速度可用统计方法求出。本文还介绍了典型的低温泵的使用方法。主题词低温泵,结构,原理,应用。1前言低温泵就是使气体冷凝在低温面上或被低温吸附剂吸附抽气的真空泵。根据冷却方式,低温泵大体可分为两类:第一类是以液氮及液氦作为冷媒,其大小形状各异,由于比较容易制造,所以可把大型的真空装置作为使用的中心;第二类是以使用G-M循环制冷机为代表的使用小型制冷机的方法,当前工业上广泛用于半导体的成膜工艺和光学透镜的涂层等。这里主要介绍带小型制冷机的低温泵。低温泵的最大特点是可以获得清洁的真空。例如,半导体生产中所必...  (本文共7页) 阅读全文>>

《真空》1986年02期
真空

小型制冷机低温泵设计与研制

一、前定 低温抽气早在1908年莱登大学翁纳斯教授成功地液化了氦气就被人们所发现。但当时由于低温技术尚未过关,同时又由于扩散泵的发明和使用,因而客观上阻碍了低温抽气技术的发展和应用。50年代末和60年代初,低温技术已发展到能大量生产低温设备,同时又因为空间技术的发展,需要在大容积内造成极低温度和真空条件,促进了低温与真空技术的联合,从而使低温抽气技术进入了第二个发展阶段,美国、苏联和“欧联中心”都先后研制了液氦低温泵。但由于液氦低温泵投资大、成本高,所以其应用只局限于实验室和特殊研究基地,未能在工业中推广。60年代由于小型制冷机问世,又由于半导体微电子技术和新型材料科学的发展,对真空环境提出了高清洁、高可靠和超高真空的要求,于是低温抽气技术进入了第三个发展时期一一现代低温泵(小型制冷机低温泵)时期。75到77年在美国这种泵尚处在实验室试用阶段,从77年开始美国有两家公司,即空气产品公司和拥温工程公司有系列产品投放市场。这两家公司...  (本文共9页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1986年02期
《真空》1985年05期
真空

制冷机低温泵的抽速测量

制冷机低温系是七十年代中期发展起来的新型抽气手段_在国内也只有六至七年的历史。采用怎样的规范来测量其抽气速率,才能正确地、简单地反映泵的性能,还在探索中。目前国际上还没有制定出可行的标准。为解决我们测试的需要,分析比较低温泵、扩散泵和溅射离子乘的抽气特性和测试规范是十分钱要的。 、,一\泵抽邀前定义和*征抽邀’3 在各种泵的抽速的实际测量中,,都采用以下公式:式中:Q是流入泵的稳定气流量,最初都认为P是泵口处的压强。 、在分柳与计算中,_i还常用下式: .S一UO.-q式中。U。是理想泵抽速(即泵口孔的流导)。o对扩散泵为何氏系数,对低温泵为捕获系数。 。1965年Dayton“ 3提出真实抽速(trueapeed)概念.而Steckdmachert。 l提出了本征抽速(intrinsic sPeed)概念。他们指出’)泵的抽速测量应在囹I所示的大测试罩上进行,并应符合下面的基本条件:(])罩的气体应处于分子流状态良(2)气流是...  (本文共5页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1985年05期
《低温与超导》2001年01期
低温与超导

制冷机低温泵自动再生系统的研究

1 引言制冷机低温泵作为提供无油无水污染超高真空的真空设备 ,可广泛应用于微电子技术、激光和电子设备、材料科学、薄膜物理与技术等领域。低温泵是通过低温冷凝和低温吸附来抽除气体 ,当捕集的气体量超过抽气容量时 ,就必须对低温泵再生 ,确切的说 ,再生就是使储存在泵内的气体脱附 ,使泵再恢复到最佳工作状态。在多年的生产应用中 ,我们深刻体会到应用低温泵最多的微电子和薄膜材料领域要求低温泵有高的自动化程度和连续运转的可靠性 ,而我国的低温泵完全依靠手动再生 ,这远远不能满足现代科研生产的需要 ,因此 ,为使现行低温泵产品成为高自动化、高适用性、高可靠性的产品 ,研制低温泵自动再生系统是很有必要的 ,这不仅有很高的实用价值 ,而且有着深远的意义。2 系统方案国外制冷机低温泵的控制经历了手动、半自动发展到自动的过程 ,控制功能由单一向多元化发展 ,控制仪器向微型化发展。国外对低温泵的控制研究有以下几个方面 :( 1 )系统集成 :早期的 ...  (本文共4页) 阅读全文>>

《真空》2001年06期
真空

制冷机低温泵的故障及排除

低温抽气是目前获得洁净真空环境的一种快捷而有效的方法。随着两级高可靠性、小型制冷机的日臻完善 ,制冷机低温泵得到迅速发展 ,已成为获得洁净、无污染、抽速大、工作压强范围宽、抽气效率高、结构简单、使用方便 ,能长期工作及可任意方向安装的真空获得设备。制冷机低温泵的冷源是小型气体制冷机。制冷机制冷系统的工况变化 ,对低温泵的抽气特性会带来一定的影响。如制冷单元的过高热负载或制冷能力的损失 ,可能导致运行温度的显著上升。这个温升会因制冷单元低温抽气作用的减小而导致真空室的真空度降低 (即压强升高 )。绝热真空度的降低又会导致制冷能力的进一步损失 ,继而会发生累进故障。因此 ,制冷系统运行工况的变化 ,将使制冷机一二级冷头温度和制冷量发生变化 ,而冷头温度的变化对泵的抽气速率、抽气容量、极限压强、再生时间等泵的特性参量产生很大的影响。制冷系统制冷工况的变化 ,除与压缩机和膨胀机的泄漏、机械零件的磨损、易损件的损坏、密封件的老化、吸附器的...  (本文共5页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》2001年06期