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数字式电阻真空计

一、引言 电阻真空计用作真空测量已有很长的历史了,而它的数字化产品直至1979年以后才相续问世。目前国外主要真空公司都有数字显示的产品。国内起步则稍晚。由于这种仪表传感器的非线性,曾经给数字显示带来一定困难。在计算机技术日益广泛使用的今天,更迫切要求数字化的真空仪表。本文介绍一种适合于非线性曲线数字化的方法,它是利用只读存贮器(R OM)供给标准校准曲线编程,将模拟电压以地址码形式输入,在输出端就得真空值,从而达到仪表数字显示。一线路简单可靠。作者将这种方法用于电阻真空计的数字显示,取得较满意结果;1985年完成了zDz一ZD型数字式电阻真空计的研翻_.朴刑加图1_位计仅枪用一只对流戎抓答.测是截围执0 .1~105Pan嘿!耀麒鹭豁鬓遭夔馨摧翼芬狄然}豉毛l垂熟;卿娜赘贾)!撇彭咋间油奋{黝影巍岌2提嗽毒烹纂毛芳沼不留心呀端;藉奋姿巷蛋鬓翟豆公自厂电朴劳辫巍撬;姿嘴舔绣璀戮嫉黝姗洲麟泛叔霎箕{i:qJ沪协S识.蔚气恐翼彝瞬若之...  (本文共4页) 阅读全文>>

《真空》1992年02期
真空

用EPROM存贮器实现线性化的数字式电阻真空计

随着电子技术迅猛发展,指针式真空仪表已不能适应真空行业发展的需要,尽快利用数字技术完成真空测量仪表的数字化成为真空行业的迫切需求,众所周知,在真空领域测量仪表占着举足轻重的位置,它的测量水平直接影响真空设备性能指标,因此高精度测量才能带来真空设备的高性能,为了满足真空行业的需要,提高测量仪表水乎,我们开始研制数字式电阻真空计,以弥补在低真空领域仪表数字化的空白。 低真空测量传感器是非线性传感器。对非线性传感器数字化测量的一个重要方面就是线性化问题,因此,研制数字式仪表的技术关键是解决线性化问题。目前在数字化仪表线性化方面采用的方法有:1.通过改变放大器倍数而分段逼近非线性曲线;2.通过双积分A/D转换进行线性处理,以上方法理论精度低、线路复杂、调试困难。因此我们就必须另找解决线性化的方法,经过查阅大量资料和反复论证,多次实验找到了一种新的方法。用可编程存贮器(EPROM)实现非线性处理:即A/D转换输出值作为存贮器的地址,把非线...  (本文共3页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1992年02期
《真空与低温》1989年02期
真空与低温

ZDZ-2D型电阻真空计与TP801单板机的联机使用

一个真空系统工作时,人们常常希望将运行过程的压力变化情况记录下来并保存。在使用指全}式真空计时,主要靠操作人员在现场记录,这样做既费率又易产生误差,如果使用模拟记录仪,其结果也只能得到非数字式的曲线。日趋普遍使用的数字式真空计,使压力数值的自动记录成为了可能。 ZDZ一ZD型数显电阻真空计,测量范围为1 x 10”一lx]0一’帕。它除了自身带有二位尾数(整数一位,小数一位)、一位指数的真空度数字显示外,还将显示数据的BCD码引向输出插座供选用,这就为记录现场数据提供了极大方便。我们在研制一个微机控制真空系统的过程中;将此计与TP801单板机相联,实现了真空计与单板机的通信。真空计作为计算机的外设之一,可享用计算机的存储资源与打印资源,从而实现了自动记录。以下说明这种联机过程的硬件联接与程序设计的具体做法,并给出部分实验结果。 ~、硬件接线 ZDZ一ZD的BCD码插座上共有14根信号线。其中真空度尾数8位(对应十进制0.0一9....  (本文共3页) 阅读全文>>

《真空》1980年40期
真空

气相沉积中电阻真空计的使用问题

一、引言真空测量对于真空镀膜、离子渗氮及物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、等离子体化学气相沉积(PCVD)等气相渗镀及沉积工艺是非常重要的[1]。真空测量的方法很多,从直接测量到间接测量。测量的仪器也很多,从水银U形真空计,油U形真空计,热传导真空计到克努曾真空计和分压真空计[2]。各种真空计测量范围也各不相同,从760~0.1Tor(105~10Pa),到10-3~10-16Torr(10-1~10-14Pa)不等。根据不同的用途而采用不同测量范围的真空计。等离子渗氮及化学气相沉积工艺过程主要地在中真空范围内,1(10)~10-3Tor[102(103)~10-1Pa],进行。国外广泛使用Baroton(薄膜真空计),属于直接测量法,国内现也开始使用,但是遇到腐蚀性气体仍无法解决。所以真空规的选用及测量方法仍存在问题。目前,国内在这个真空范围内应用热传导式的电阻真空计较多,因为其测量范围宽且价格适合。现将我们在使...  (本文共4页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1980年40期
《真空》1979年05期
真空

818-C型定温电阻真空计的若干问题

引言 818—C型定温电阻真空计已经生产10年了。尽管10年来国内曾出现过其它型式的电阻真空计,818—C型却是唯一坚持了生产的型号。这说明它在原理、设计方面是正确的,基本的工艺也是可行的。同时也说明在实现四个现代化过程中出现了日益增长的需求。因此,为了用户的方便,在技术上加以适当总结仍然是有意义的。限于篇幅,本文只能阐述用户感兴趣的几个问题。 第一部分关于原理和性能 方面的几个问题 一、 818—C型的优点 818—C型定温电阻真空计在国内受到广泛而热烈的欢迎,是有一定原因的: 1.电阻计比麦氏计方便,量程宽。尤其是上限量程好(达100托),这满足了工业上许多用户的要求。 2.测量过程无汞、无毒,也没有玻璃管打破、水银流散的问题,以及操作不慎造成水银抽吸的问题。消除了有害作业。 3.读数直观,可以连续指示真空度的变化。真空度改变时,仪器反应比较敏感。 4.可以用它及时发现设备的突然漏气现象。同时,可以依靠仪表的指示,配合阀门操...  (本文共4页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1979年05期
《真空》1985年01期
真空

电阻真空计的误差分析

自1833年克里斯天(christie)描述了惠斯登电桥电路以来,应用很广。该电路也很快地被广泛应用在真空度的测量上。 电阻真空计俗称皮喇尼真空计,迄今也有几十年的历史了,其一般测量范围为100~10-3托。系采用一根电阻温度系数较大的金属丝(如钨、铂、镍丝)制成规管,在其两端施加电压,通过测量电气参量来反映出真空度。其电路大致可分为定压、定流、定温(定阻)等形式。 分析电阻真空计的误差,对于实际应用十分重要。根据国家标准单只规管校准曲线在测量范围内与标准曲线的偏差其平均值不应大于±25%,可见在电阻真空计中若要缩小测量误差,则规管占有很大的比重;实践表明规管的零散性较大;规管电阻丝冷态电阻值的零散性虽可控制在±2%,但更主要的是在于电阻丝的材质以及表面状态,为确保其工作的稳定性,除对热丝表面进行清洁处理外,有的在热丝表面敷上一层极薄的材料,如■、石英、玻璃、甚至也有涂金的,以免在高压强上使用时被氧化或污染。但这又将会导致热惯性...  (本文共3页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1985年01期
《电子管技术》1979年02期
电子管技术

818-C型定温电阻真空计(上)

第一部分基本原理 一定温式和定压式简介 假定有一根金属细丝放在一个空心圆柱体·内部的轴线位置,而丝内通以电流(故称之为加热丝)。这样就构成一只电阻真空规管,如图1所示。 当气体和规管一定时,Q决定于温度梯度。温度梯度越大,Q越大。然而,管壳温度基本上由环境温度决定。因此,丝温越高,Q越大,仪表量程越宽,灵敏度越高。这样看来,丝温的高低就成为间题的关键。 图2定性地说明丝温与真空度的关系。图中Tl。代表定温原理应有的恒定温度,虚线是一种理想情况。 .丝浪度玩协。热钱毛图1规管结构示意图I巨,l口飞 /﹄式J邝r少一通一知/︸定加脚矛0门J尹一八公﹄一;‘升确朋 假定规管壳的总面积用S表示。如在壳上取一个单元面积ds,那么,根根傅利叶公式,单位时间内经过S传出的热量为:凑空度(而r日图2模式曲线。一丁丁:、}餐1‘· __,.、二、、,_~、__、_口I,、式中,r是“,的法线方向,T是温度,渝是沿r方向的温度梯度,K是气体热传导系...  (本文共10页) 阅读全文>>