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一种用于淀积铁磁膜的新型磁控靶研究

一、引言 MIG$头要求较高的硬度、较好的耐磨性以及尽量高的电阻率。自80年代初期以来,国际上开始对Sendust合金(FestAl、FeCoNi等)薄膜进行研究,目前已能_用于*IG磁头中’‘·’·”。由于Fe出Al与其它合金比较具有高的B。、高的起始磁导李卜;和高电阻车尸,耐磨性也大大地超过NIFe合金,所以它引起众多学者的极大关注[‘’。FestAl合金膜研究方面目前尚存在如下问题:第一,对用于MIG磁头的 FestAl合金薄膜来说,厚k一般在印m左右,且是磁性薄膜,用一般 DC磁控靶溅射时间相当长,靶面发热严重且引起氧化反应,所以设计一种专用于溅射破性材料的 DC磁控靶Z是必须的;第M,从制备工艺上探索使薄膜矫顽力 H。 ,J’于 IOe,使起始用导率p;增大。本文针对上述问题给出了一新型DC磁控靶的设计方案,并用设计的靶成功制备出了适合MIG磁头用的 FestAl合金薄膜。最后提出降低 s。,提高 n;的途径。 二、用...  (本文共4页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》1993年06期
《材料研究学报》2019年06期
材料研究学报

低熔点玻璃粉包覆FeSiAl合金的结构和电磁性能

随着电子设备使用量的不断增加,电磁干扰(EMI)日益严重。因此,高效吸波材料的研发和应用有重大的意义。软磁性FeSiAl吸波材料[1]因不含Co、Ni等元素而价格低廉,是良好的电磁波吸收载体。相比于球状FeSiAl,扁平化的片状FeSiAl的磁性能有极大的提高且易于突破Snoek极限[2~4],但是其高介电常数不利于阻抗匹配[5,6]。绝缘包覆,是目前有效的降低介电常数的方式之一。绝缘包覆的方式种类繁多,有表面钝化法、机械包覆法和化学沉淀法等[7~9]。表面钝化法使粉末表面生成一层致密的氧化膜,但是此方法的酸钝化会破坏粉末晶格结构,影响粉末的磁性;机械混合法的操作简单,但是粉末与绝缘剂的随机混合难以使包覆均匀致密;化学沉淀法比前二者包覆紧密,且其可在粉末表面结晶,而磁性晶体能改善材料的吸波性能。薛志等[10]用化学共沉淀法将NiZn铁氧体包覆在FeSiAl粉末表面,在提高其绝缘性的同时还改善了磁性能。但是这种方法在化学沉淀的操作...  (本文共6页) 阅读全文>>

《功能材料》2018年02期
功能材料

球料比对FeSiAl合金吸波性能的影响

0引言为提高军事目标在战争中的生存能力与武器的突防能力,应用隐身技术成为世界各国国防发展的重要方向[1-3]。软磁金属合金粉末具有成本低、饱和磁化强度和磁导率高等优点,使其具有优良的吸波性能,并因此得到了广泛应用[4-5]。磁性合金的磁导率与其粉末颗粒的形状和尺寸有密切关系,从而很大程度上决定了材料的吸波性能[6-8]。湿法球磨是一种颗粒细化和扁平化处理的有效方法,通过粉末、球磨介质和球磨罐器壁间的高频撞击,粒子因挤压变形、断裂和重复焊合[9]。因此,本文以FeSiAl粉末为研究对象,采用湿法球磨对FeSiAl粉末进行颗粒细化和扁平化处理,从而研究研究不同颗粒尺寸和扁平化程度对FeSiAl粉末颗粒电磁参数和吸波性能的影响。1实验1.1样品的制备原材料选用粒度均匀的FeSiAl合金粉(平均粒径约为45μm、纯度99%)。球磨机选用南京大学仪器厂的QM-ISP2型行星式球磨机;球磨介质选用无水乙醇;磨球选用氧化锆球(直径为8,6,3...  (本文共5页) 阅读全文>>