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光学薄膜微结构制造方法研究

自组织纳米结构以其新颖的结构特点以及在纳米器件中的潜在用途成为当今纳米技术的研究热点。低能离子束刻蚀技术被认为是一种有效的形成自组织纳米结构的方法。本文主要研究离子束溅射因素和表面扩散因素对于获得不同薄膜表面微结构的影响规律。采用离子束辅助蒸发的方法沉积银膜,在不同的沉积温度下,改变离子束能量和离子束束流辅助沉积银膜,厚度约为280nm。进行了三组沉积实验:(1)沉积过程中一直进行离子束辅助;(2)离子束辅助沉积230nm银膜之后继续沉积50nm的银膜;(3)离子束辅助沉积结束后继续进行离子束刻蚀。系统的研究了离子束能量、离子束束流、沉积温度对薄膜表面微结构的影响规律。对沉积的银膜进行表面形貌、表面粗糙度、光学常数及反射率测试。研究结果表明:1)离子束辅助沉积实验中,沉积温度分别为32℃、65℃、125℃和200℃时,银膜表面粗糙度随离子束能量的增加都呈先减小后增大的趋势,离子束能量1200eV时银膜表面粗糙度最小;沉积温度分别  (本文共84页) 本文目录 | 阅读全文>>

《玻璃与搪瓷》1993年02期
玻璃与搪瓷

保温瓶胆和冷藏瓶胆对银膜的不同要求

决定瓶胆保温和保冷效能优劣的主要因素是瓶胆夹层真空度的高低。如果瓶胆夹层被抽成真空而不镀银,该胆也不具有保温和保冷效能。所以...  (本文共5页) 阅读全文>>

《光学技术》1985年01期
光学技术

退火对银膜反射率的影响

一、引言退火对于银膜结构的影响,已经被人们广泛地研究。大家观察到的结果,主要是在薄膜表面会出现凝结成团或发生异常变态——小丘的生长。凝结成团的尺寸,随温度增加而加大,当温度达到一个特殊的数值,即0.59T时...  (本文共2页) 阅读全文>>

《农业科技通讯》1987年04期
农业科技通讯

菜田应用银膜避蚜防病

菜蚜是我区蔬菜的重要害虫之一。除直接造成为害外,还能传播多种蔬菜病毒病。而后者造成的损失和危害性往往超过蚜害本身。化学药剂仍是治...  (本文共1页) 阅读全文>>

《今日科技》1987年12期
今日科技

科技荟萃

节电冷光电灯泡美国爱迪生公司生产出一种新型...  (本文共1页) 阅读全文>>

《山东大学学报(自然科学版)》1988年02期
山东大学学报(自然科学版)

血卟啉的表面增强拉曼光谱

本文报导了血卟啉在银膜上的表面增强拉曼...  (本文共4页) 阅读全文>>