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低寄生电容ESD保护器件的研究

随着半导体工艺技术的进步,集成电路的飞速发展,静电放电(Electrostatic Discharge,ESD)对集成电路产品可靠性影响日益严重,ESD保护面临重重困难和挑战。尤其是在高频工作状态下电路的ESD保护,高鲁棒性ESD保护器件所带来的寄生电容会对电路产生很大的影响。本文针对ESD保护器件的寄生电容展开了研究,并进行了优化。本文首先研究了常用ESD保护器件二极管、MOSFET和SCR(Silicon Controlled Rectifier)的工作原理和寄生电容特性。二极管正向ESD保护能力强,寄生电容小;MOSFET由于栅结构的存在带来了大量的寄生电容,不适合用于高频下的ESD保护;SCR能在较小的芯片面积下达到很强的ESD保护能力,寄生电容较小,但也存在触发电压高维持电压低的缺点。针对正向二极管ESD电流泄放能力强寄生电容小的特点,研究了N+/Psub二极管尺寸对其寄生电容的影响,并提出了通过优化二极管版图结构,增  (本文共77页) 本文目录 | 阅读全文>>

西安电子科技大学
西安电子科技大学

CMOS工艺静电保护电路与器件的特性分析和优化设计

随着半导体工艺的发展,特别是CMOS工艺的特征尺寸不断减小以及各种新型工艺步骤的引入,半导体器件和电路对电过应力的天然承受能力在持续下降。而人们对于集成电路更高性能的追求,又使得静电放电(ESD)保护的设计更加困难。本文主要研究了在微米和纳米CMOS技术条件下,电路级和器件级的ESD保护的设计问题。从ESD测试、失效分析、ESD器件研究和电路设计等方面进行了分析研究。主要研究工作和成果如下:1.论文对ESD的一些基本概念进行了阐述,包括产生机理、测试模型、测试方法、失效分析、常用防护手段等方面。2.对ESD防护器件进行研究和改进设计。首先阐述了选用ESD防护器件的基本条件,对几种常用的ESD防护器件进行说明和对比,分析其优缺点和存在问题。然后以当前的研究热点SCR器件作为主要研究对象,探讨了SCR的主要问题,即开启电压、维持电压和寄生参数。最后,通过仿真对SCR器件进行了优化讨论。3.设计ESD电源箝位电路。ESD电源箝位电路是...  (本文共127页) 本文目录 | 阅读全文>>

江南大学
江南大学

面向RFIC的片上及片外ESD防护设计研究

随着集成电路(IC)工艺和射频(RF)技术的快速发展,RFIC芯片面积持续减小,运行速度不断加快,与此同时,芯片的静电放电(ESD)防护需求也越来越高,给ESD防护设计带来了新的挑战。虽然ESD对RFIC的影响已经引起业界的广泛关注,并提出了一些适用于RFIC的ESD设计方案,但是,由于IC工艺和应用领域的多样性,一些已有方案难以满足日新月异的RFIC芯片对ESD防护方案的低触发电压、高开启速度以及低电容的应用需求。因此,本文以基本的ESD防护器件单元为基础,针对RFIC的片上及片外不同的应用需求,分别设计了合适的片上及片外ESD防护方案,并利用传输线脉冲测试(TLP)系统和网络矢量分析仪对设计的实验器件进行了测试,分析了它们的ESD防护性能参数,并结合TCAD(Technology Computer Aided Design)仿真,深入研究了防护器件的内部工作机理。首先,阐述了RFIC的工作特性、ESD防护需求及ESD防护设计...  (本文共62页) 本文目录 | 阅读全文>>

西安电子科技大学
西安电子科技大学

高速集成电路中ESD保护器件与电路的研究及设计

随着科技革命的不断推进,半导体工艺和集成电路技术同样取得了巨大的进步,使得芯片面积不断减小,运算速度不断提高。然而,高集成度以及高运算速度却使得集成电路和电子器件对静电放电(electrostatic discharge,ESD)保护的要求不断提高。ESD是芯片可靠性研究的重要组成部分。ESD应力产生的高电场、大电流足以击穿CMOS器件的栅氧层或集成电路的金属布线。这使得ESD成为了集成电路失效的主要原因之一。相比起一般集成电路的ESD保护,高速电路低寄生电容、低泄漏电流(leakage current)和零串联电阻(series resistance)等要求使其ESD保护更加困难。因此,双二极管ESD保护电路(dual diodes/rail-based ESD protection circuit)被广泛地应用于射频(radio frequency,RF)、高速(high-speed)和数字电路的ESD保护中。为进一步改善双...  (本文共83页) 本文目录 | 阅读全文>>

《设备管理与维修》2019年22期
设备管理与维修

集成电路ESD防护关键技术探讨

随着经济快速发展,人们消费水平不断提升,对集成电路要求逐渐增高。在生产芯片的过程中,应用先进的生产工艺不断改良和完善,对提升芯片质量和性能有重要的意...  (本文共2页) 阅读全文>>

《中国中医药现代远程教育》2017年01期
中国中医药现代远程教育

中医护理对ESD术后病人恢复的影响

目的探讨中医护理对内镜黏膜下剥离术(ESD)治疗后病人恢复的影响。方法对2010年—2016年在我科行ESD10例患者,10例患者...  (本文共2页) 阅读全文>>

《当代护士(下旬刊)》2017年04期
当代护士(下旬刊)

1例前列腺增生患者ESD术后多次导尿致尿道出血的护理体会

导尿术是在严格的无菌操作下,将无菌导尿管经尿道插入膀胱引出尿液的技术,简便易行,是常用的解除尿潴留、做尿细菌培养的首选方法,但同时也是最易发生危险,损...  (本文共2页) 阅读全文>>