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MOEMS光开关阵列芯片的研究

快速发展的光通信技术促使全光通信网络浮出水面,全光网络的发展依赖于光开关技术的进步。过去几年间,各种各样的技术被用于光开关的研究。和其他技术相比,MOEMS 光开关技术显示了无法比拟的技术优势。因此基于MOEMS技术的光开关将成为下一代全光通信网络的关键光器件。首先,从光开关在全光网络的应用出发,比较了各种光开关技术的性能。基于MOEMS 技术的光开关和其他技术类型的光开关相比显然具有更多的优良性能,例如波长透明和偏振无关等。叙述了国内外目前为止MOEMS 光开关技术的发展现状。提出了一种基于静电驱动和垂直微反射镜技术的MOEMS 光开关。其次,分析了光开关微反射镜的反射特性,然后推导了归一化的光开关静电驱动结构力矩平衡特性方程。另外,讨论了各个静电驱动结构参数对驱动电压的影响。随后,计算了光开关的固有频率,并且分析了光开关的开关速度。第三,使用MSC Patran 有限元软件对静电驱动结构进行了建模,并利用有限元分析了各部分的  (本文共77页) 本文目录 | 阅读全文>>

《仪表技术与传感器》2019年10期
仪表技术与传感器

MOEMS器件的硅微透镜阵列制造工艺

开发了一种适于MOEMS器件的基于硅微加工技术的简易的硅微透镜阵列制造工艺。通过光刻胶热熔法与ICPRIE(感应耦合等离子反应离子刻蚀)相结合的方式,实现在硅晶圆上批...  (本文共3页) 阅读全文>>

电子科技大学
电子科技大学

光纤MOEMS声波传感机理与器件研究

光纤声波传感器由于具有体积小、抗电磁干扰、低传输损耗、耐腐蚀和安全可靠等优良特性,自1970年代首次出现以来,已经被广泛研究。另一方面,MEMS声波传感器也已被广泛报道并用于声学检测。采用MEMS工艺加工的产品具有体积小、重量轻、集成度高和易批量生产等优点。利用MEMS加工技术可以在单个硅片上集成微型声波传感器,相比传统电学声波传感器,它具有器件集成度高以及功耗低等优点。但现有的MEMS声波传感器主要是基于电容信号检测原理,传感器灵敏度较低且容易受到外界电磁干扰,这严重制约了MEMS声波传感器在高灵敏度声学检测和极端环境下的应用。本论文将MEMS声敏感元件与光纤法布里-珀罗(F-P)结构结合起来实现了一种高灵敏度声信号检测结构。MEMS声敏薄膜的声压检测灵敏度高,其结构可灵活设计,制备工艺的一致性好,结合光纤F-P光学信号检测方法可以实现对微弱声压信号的有效探测,并且该光纤声波传感结构具有无源性和抗电磁干扰的特点,在一些极端环境...  (本文共66页) 本文目录 | 阅读全文>>

《重庆文理学院学报(自然科学版)》2007年06期
重庆文理学院学报(自然科学版)

基于MOEMS技术光开关的研究与进展

光开关是光通信网络的重要功能器件,基于MOEMS技术的光开关是最具发展前景的光开关之一.本...  (本文共4页) 阅读全文>>

《北京航空航天大学学报》2006年11期
北京航空航天大学学报

MOEMS陀螺的谐振腔设计

微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了...  (本文共4页) 阅读全文>>

《光通信技术》2004年04期
光通信技术

国内MOEMS光开关的研究现状

阐述了国内MOEMS光开关的研制现状,列举了国内正在...  (本文共4页) 阅读全文>>