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等离子体发射光谱及其在ZnO薄膜生长中的应用

本文通过发射光谱实验,研究了一种以ICP的电源配给方式提供给天线,激发处在恒定磁场中的石英钟罩内的气体来形成等离子体,我们称之为磁场增强ICP的新型等离子体源。得出磁场的引入降低了感应耦合等离子体向高密度模式转变的功率阈值,提高了等离子体的密度和均匀性的可控性;通过对谱线相对强度的理论模拟和讨论,分辨出与N_2谱线重合的N~+线和NI线,并估算了等离子体的解离率,得出等离子体的解离率和离化率是随磁场的增强逐渐提高的。并根据平面天线,螺旋天线,平面螺旋组合天线这三种不同类型的天线的比较,得出螺旋型的天线所激发的等离子体具有较强的密度,但稳定性相对较差。本文通过等离子体发射光谱在线监测,研究了ZnO薄膜制备过程中的沉积温度T、氧气流量比例[O_2/(O_2+Ar)]对ZnO成膜空间中的Zn和O原子发射光谱的影响,得出脉冲放电条件下微量氧气将导致溅射产额的显著增加。当氧气流量比例大于0.75%时,金属Zn靶的溅射产额随R的增加基本呈线  (本文共62页) 本文目录 | 阅读全文>>

哈尔滨工程大学
哈尔滨工程大学

新型ZnO基复合脱硫剂的制备研究

脱硫剂广泛应用于化学工业、石油化工、炼油、冶金、环保等领域,脱硫技术一直是石油化工生产过程中所关注的关键技术之一,大约80%以上的石油化工生产过程与脱硫有关,且随着高活性催化剂的开发与应用对脱硫技术有更高的要求,作为脱硫技术的核心部分,脱硫剂的开发就具有非常重要的意义。在诸多种类的干法脱硫剂中,氧化锌以其脱硫精度高,操作稳定方便,硫容量(重量百分比)高而占据重要地位。本文主要研究了适用于较低温(200~350℃)过程的ZnO基脱硫剂,该脱硫剂以ZnO为主要活性组分,添加MnO、CuO作为复合促进剂,进一步提高ZnO脱硫剂的脱硫能力。通过实验,本文确定了该脱硫剂的基本制备工艺,并对其脱硫性能进行了研究。实验中,研究了脱硫剂前驱物的制备方法,最终确定采用化学共沉淀法,并且在沉淀的过程中采用了超高分散技术,制备出具有纳米级尺寸的脱硫剂前驱沉淀物。在脱硫剂的成型方面,本着节约成本的宗旨,选择硅铝酸盐作为脱硫剂的支撑载体,并通过实验,确定...  (本文共53页) 本文目录 | 阅读全文>>

电子科技大学
电子科技大学

ZnO光子晶体的自组装可控生长

本文概述了各种制备光子晶体的方法和原理,并综述了光子晶体的最新研究进展。利用胶体自组装法制备了ZnO光子晶体,并通过控制反应温度、溶液A用量、胶体悬浮液的浓度、前处理温度、基片洁净度等因素,可以实现对ZnO光子晶体的可控生长。分别对重力自组装法、滴涂法、旋涂法进行了对比实验,找出各种方法的优缺点。利用透射光谱及反射光谱研究了影响ZnO光子晶体的光子禁带的工艺参数;利用X射线衍射仪分析了ZnO光子晶体的结晶和取向性能;利用荧光分光光度计,研究了不同前处理温度下的ZnO光子晶体的光致发光谱。  (本文共65页) 本文目录 | 阅读全文>>

《阜阳师范学院学报(自然科学版)》2019年04期
阜阳师范学院学报(自然科学版)

孪生结构ZnO的可控合成与光催化性能研究

采用水热法制备了具有孪生结构的ZnO材料。通过改变锌盐的种类,在油胺和十二醇为溶剂的合成体系中获得了不同尺寸和形...  (本文共4页) 阅读全文>>

《广东化工》2019年22期
广东化工

废ZnO脱硫剂再生工艺进展

随着我国的经济社会不断进步,生态环境保护日益成为人们所关心的重要问题。H_2S是一种有毒恶臭气体,危害很大,主要来源于石油化工、煤化工等工业生产活动。目前,除去H_2S气体的主要方法是采用脱硫剂。中温脱硫剂广泛使用ZnO。脱硫剂在使用一段时期后,由...  (本文共2页) 阅读全文>>

《化工新型材料》2017年01期
化工新型材料

ZnO基复合材料在染料敏化太阳能电池中的研究

ZnO作为染料敏化太阳能电池(DSSC)光阳极的研究已成为近年来的热点。简要介绍了染料敏化太阳能电池的发展及其结构,ZnO在染料敏化太阳能电...  (本文共3页) 阅读全文>>