分享到:

圆平动研抛的流体动力学性能仿真分析

集成电路(IC)制造工业中,化学机械抛光(chemical mechanical polishing, CMP)广泛应用于计算机硬盘片、硅晶片超光滑无损伤表面的加工。由于传统的CMP加工方法存在着一定的缺陷,随着微电子、计算机、通信及网络技术的高速发展对IC制造提出越来越高的要求,这势必要对CMP加工效率和加工质量提出更高的要求,研究新型的研磨抛光加工方法也成为了必然趋势。圆平动研抛(circularly translational-moving polishing, CTP )是一种新型的化学机械抛光方式。CTP能实现抛光所需要的最佳运动学条件,所以能得到比传统的CMP更好的加工效果。圆平动研抛是工件或研抛盘之一固定不动,而另一构件以恒定的速率沿圆形轨迹做平动而实现的抛光过程。为了从理论上评价CTP的性能并掌握其机理,以便应用于指导实际,本文基于全膜接触和部分膜接触两种工况,建立了不考虑抛光盘变形的CTP流体动力学模型并进行了  (本文共67页) 本文目录 | 阅读全文>>

《干旱地区农业研究》2016年06期
干旱地区农业研究

全膜双垄沟地膜捡拾机的设计

为了解决地膜污染问题,通过对国内外地膜捡拾机的研究和借鉴,研制出全膜双垄沟地膜捡拾机。运用SolidWorks motion功能仿真弹齿M点的运动轨迹和X方向线性速度,得出收膜滚筒的转速为...  (本文共5页) 阅读全文>>

《现代农业》2016年01期
现代农业

2015年武山县全膜玉米测产报告

为了测定今年推广种植的13.11万亩全膜玉米的产量水平,县农技站抽调7名技术人员于2015年9月11日至14日,对2015年种植全膜玉米...  (本文共1页) 阅读全文>>

《宁夏农林科技》2015年10期
宁夏农林科技

冬小麦全膜微垄穴播技术效益试验初报

雨养农业区在冬小麦生产上采用全膜微垄穴播栽培技术增产作用十分显著,在2014年小麦黄矮病大流行的情况下采用该技术冬小麦平均产量达到6 361.2 kg/hm~2,分别比全膜覆土穴播栽培、传统覆膜穴播栽培和膜侧条播栽培技术增产30.8%、110.26%和127.15%,纯收益分别提高8 238.6元...  (本文共5页) 阅读全文>>

《农业机械》2016年04期
农业机械

甘肃省小麦全膜覆土穴播机械化技术推广应用效果

本文通过阐述小麦全膜覆土穴播栽培技术增产节水原理,研...  (本文共2页) 阅读全文>>

《北京农业》2014年27期
北京农业

甘肃中部发展全膜覆土穴播技术的优势与问题

推广全膜覆土穴播技术能够提升水分利用率,解决农作物种植过程中存在的缺水问题,对甘肃中部旱作农业的发展有着促进效果,能够解决旱地农,作物种植产量低、缺...  (本文共1页) 阅读全文>>