金属氧化物半导体纳米材料的制备及其气敏传感性能的研究

作者:张子悦导师:朱丽萍
来源:浙江大学 博士论文 2018年

摘要: 气敏传感器的关键在于其敏感元件,即气敏传感材料,传感器的气敏传感材料与气体接触后产生的一系列物理、化学效应会将气体类别,浓度和成分按照一定的规律转换成电信号输出,通过判断输出电信号的特点,读取与待测气体相关的信息。在不同种类的气敏传感器中,金属氧化物半导体传感器因其气敏材料制备方法简单、重复性好、成本低、稳定性好等优势而被广泛应用。但是金属氧化物半导体气敏传感器往往需要较高的测试温度,以达到最好的气敏检测性能,而长时间的高温工作不仅增加测试成本,还会降低敏感元件的稳定性和测试结果的可靠性,因此尝试在较低工作温度下达到优异的气敏检测性能的相关研究备受重视。...

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