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人造太阳再创放电新纪录

本报讯 通讯员陈沉报道 中科院等离子体研究所透露,中国第一台超导核聚变实验装置HT-7物理实验近  (本文共1页) 阅读全文>>

《信息与电脑(理论版)》2016年16期
信息与电脑(理论版)

等离子体放电过程的二维数值模拟研究

等离子体放电过程的研究对提高等离子显示器的亮度和放电效率都有着重...  (本文共2页) 阅读全文>>

《电气应用》2012年22期
电气应用

等离子体放电技术在环境工程中的应用

等离子体放电技术尤其是非平衡态等离子体放电(低温等离子体)在三废(废水、废气及固体废弃物)处理方面具备...  (本文共3页) 阅读全文>>

西北师范大学
西北师范大学

低气压双频容性耦合Ar/O_2等离子体放电特性的实验及模拟研究

双频容性耦合等离子体(Dual-Frequency capacitively coupled plasma)由于可以独立控制离子通量和离子能量,且结构简单,成本较低,在集成电路的刻蚀工艺以及等离子体清洗等方面有着非常广泛的应用。本文通过DF–CCP装置制备了氩氧混合等离子体,其中高频频率为94.92 MHz,低频频率为13.56 MHz,讨论了等离子体放电特性随着高频功率,低频功率,气压和混合气体比的变化。第一部分工作,固定放电气压50 mTorr,Ar/O_2混合比1:9的条件下,对氩氧混合等离子体的发射光谱进行了分析。用双谱线强度比法计算了电子温度,采用PIC-MCC(Partical-in-cell and Monte-Carlo)数值模型,模拟得到了电子温度、电子密度、电势和电场分布。结果表明:数值模拟电子温度与实验计算结果吻合较好,电子温度随高频功率的增加而降低,随低频功率的增加而升高;电子密度随高频功率的增加而增大,...  (本文共58页) 本文目录 | 阅读全文>>

西安电子科技大学
西安电子科技大学

感应耦合氦放电数值模拟

在过去的三十年里,低温等离子体的应用主要从照明、微电子设备到新材料制造,远远超过我们的预期。射频等离子体从10~5 Hz到10~9 Hz,特别是现在用于处理金属,半导体和绝缘材料制造的超级大集成电路(ULSI),存储各种功能性薄膜和修改表面属性。然而其研发并不平衡,等离子体系统相比非电离气体复杂很多,至今仍有诸多物理机制未透彻掌握。在产业的一些利用中,等离子体加工过程的物理机理不敷领会,较多进程的机理仍旧不清晰,且受庞大而复杂的工艺图像等要素影响造成等离子体应用技术缺乏可行的监测调节措施,最终形成的工艺稳定性弱,产品质量差异大,效率低下等现状。因此低温等离子体物理的基础应用研究尤为重要,而实验研究在基础研究中面临更加严峻的考验。进入计算机时代后数字化飞速发展,数值计算和数据模拟已成为理论研究不可或缺的部分。本论文对低温等离子体放电进行研究,以解决实际应用问题为出发点,主要做了以下几方面的探究工作:1、对反应气体在放电中使用的线圈...  (本文共72页) 本文目录 | 阅读全文>>

北京工业大学
北京工业大学

低气压等离子体放电增强影响研究

低温等离子体已经广泛的应用于我们的生活中,不仅在物理与化学、材料与能源,微电子与半导体等领域得到了运用,而且在飞行器及天线的等离子体隐身方面具有十分重要的研究前景,其对等离子体的特性提出了更高的要求,如电子密度和温度等,本文对等离子体特性的影响因素进行了深入的研究。本文主要利用射频放电和直流放电两种放电方式研究了等离子体放电增强的影响关系,利用光纤光谱仪研究了ICP放电的E-H模式转化,并结合朗缪尔双探针检测对直流放电进行了研究,通过改变放电功率、气压、放电距离、阴极数目与组合等条件,掌握等离子体各参数的变化规律,提高等离子体的密度,最后利用COMSOL模拟软件,对实验结果进行验证分析。首先,利用发射光谱诊断法研究了射频等离子体放电参数关系,掌握了E-H放电模式转的换放电增强条件。通过光纤光谱仪对ICP放电等离子体在圆柱型放电装置中E模到H模的转化进行了研究。E模到H模的转化是一个突然变化的过程,转换功率会因不同的气体流率、放电...  (本文共71页) 本文目录 | 阅读全文>>