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三轴加速度计有望成消费应用标配

消费电子产品功能的增加推动了对数据存储的需求,设计人员正在寻找占用较小板卡空间的改进保护系统,这为MEM  (本文共2页) 阅读全文>>

中国计量大学
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谐振—力平衡电容式三轴加速度计检测电路研制

微机械加速度计具有体积小、重量轻、低成本、批量生产等优点,在汽车、通信、生物医学、航空、航天等领域具有十分广阔的应用前景。高性能微机械加速度计已经成为微传感器领域研究热点之一。针对目前微型三轴加速度计检测机理单一的现状,课题组提出一种基于谐振-力平衡电容复合检测机理的体微机械单质量块三轴加速度计结构。采用谐振梁检测面内X/Y轴加速度,采用力平衡模式的差动电容检测机理检测Z轴加速度。质量块的重心位于支撑梁的中性面内,减小了面内加速度引起的质量块翻转,从而使加速度计具有较小的交叉轴灵敏度。本论文主要工作是研制该三轴加速度计的检测电路、建立加速度计的检测系统,并测试性能参数。在之前的工作基础上重点开展下述两个方面的研究工作:(1)为了实现对谐振梁谐振频率的精确检测,设计一种基于FPGA的周期自调整频率计,并使用角度旋转台和标准振动台测试了面内加速度检测的灵敏度和交叉灵敏度。(2)采用PI校正方法优化系统的频率特性,通过力反馈环节将电信...  (本文共74页) 本文目录 | 阅读全文>>

中国计量大学
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谐振-力平衡电容式三轴加速度计结构仿真与封装工艺研究

三轴微型加速度计具有体积小、低功耗和易批量生产等优点,广泛应用于汽车导航、航空航天等领域。随着微细加工技术的不断进步以及民用和国防等领域日益增长的需求,三轴微型加速度计的研究逐渐成为加速度计重要的发展方向。针对目前三轴加速度计检测方法单一的缺点,课题组提出一种基于谐振-力平衡电容式复合检测机理的三轴体微机械加速度计。由质量块、蟹腿型支撑梁和谐振梁组成的谐振检测系统敏感面内X和Y轴加速度。由上盖板、质量块和下盖板组成的差动电容检测系统敏感面外Z轴加速度。质量块的重心位于支撑梁的中性面内,减小了面内加速度引起质量块的翻转,从而使加速度计具有较小的交叉轴灵敏度。论文对该谐振-力平衡电容式三轴加速度计进行了理论分析。利用Ansys Workbench 15.0软件对加速度计进行建模并对振动模态、灵敏度、交叉灵敏度、量程进行了仿真模拟。通过仿真谐振梁的厚度对三轴加速度计的灵敏度和交叉轴灵敏度的影响,对谐振梁厚度进行了优化设计,获得了三轴轴...  (本文共74页) 本文目录 | 阅读全文>>

中北大学
中北大学

基于三轴加速度计的人体活动识别

随着传感器技术的发展,传感器的体积越来越小,便携性越来越高,基于传感器的人体活动识别吸引了众多研究学者的关注。目前,人体活动识别主要通过机器学习方法和深度学习方法实现。高精度、高效率、特定的应用场景、多传感器的融合等因素是解决人体活动识别任务的重要目的,而传感器内部轴之间的隐藏关系却少有人关注。现阶段针对传感器内部轴之间的隐藏关系的研究方法大都依赖于人的领域知识,具有一定的局限性。为了解决该问题并探索隐藏关系对分类准确率的影响,本文提出了基于多通道数据融合的卷积神经网络方法以及基于单通道数据融合的卷积神经网络方法,对使用三轴加速度计的人体活动识别进行研究,本文的主要工作如下:(1)为了利用传感器内部轴之间的隐藏关系,本文提出利用数据融合的方法去完成包含传感器内部轴之间隐藏关系的融合数据的获取;之后,使用卷积神经网络进行特征提取及活动分类。由于原始传感器数据为1维数据,拥有多个通道,所以本文根据其数据格式提出了基于多通道数据融合的...  (本文共70页) 本文目录 | 阅读全文>>

黑龙江大学
黑龙江大学

三维磁场/三轴加速度/压力传感器集成化研究

本文给出基于MEMS技术设计的三维磁场/三轴加速度/压力多功能集成化传感器基本结构,其中三维磁场传感器由五只霍尔磁场传感器和磁场集中器构成,基于霍尔效应和磁场集中器原理,可实现三维磁场(B_x、B_y和B_z)测量;三轴加速度传感器由弹性元件和压敏电阻构成,弹性元件包括四个L型双梁、两个质量块及中间双梁,十二个压敏电阻分布在L型双梁和中间双梁的根部,分别构成三个惠斯通电桥结构,基于压阻效应可实现三轴加速度(a_x、a_y和a_z)测量;压力传感器由方形硅膜和位于边缘区域的四个压敏电阻构成,利用扩散硅压阻效应可实现外加压力(P)测量。在此基础上,本文采用TCAD-Atlas软件构建三维磁场传感器仿真模型,并且采用ANSYS Workbench软件构建磁场集中器、三轴加速度传感器和压力传感器结构仿真模型,分别进行传感器特性仿真分析,给出了传感器设计方案,并使用L-Edit软件,完成集成传感器版图的设计。基于MEMS技术制作了集成化传...  (本文共114页) 本文目录 | 阅读全文>>

《阜阳师范学院学报(自然科学版)》2017年03期
阜阳师范学院学报(自然科学版)

引信膛内三轴加速度测试

引信作为炮弹最关键的组成部分,由于膛内的恶劣环境影响,引信所受到的超高加速度对引信的可靠性至关重要。本文设计了一种基于弹载测试技术的微型三轴加速度测试系统。该微型测试系统替代原先...  (本文共4页) 阅读全文>>