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GF与特许合并 晶圆双雄面临挑战

ATIC公司7日以18亿美元收购新加坡特许半导体62%的股权,并将旗下的Globalfoundries(GF)与特许  (本文共1页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2020年06期
电子工业专用设备

提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究

针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动...  (本文共6页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2020年01期
电子工业专用设备

超薄晶圆减薄工艺研究

主要研究了超薄晶圆减薄工艺和设备。从设备结构、晶圆传输、晶圆加...  (本文共6页) 阅读全文>>

《集成电路应用》2017年04期
集成电路应用

华虹半导体功率器件平台累计出货量突破500万片晶圆

华虹半导体有限公司宣布,功率器件平台累计出货量已突破500万片晶圆。其中,得益于市场对超级结MOSFET(金氧半场效晶体管)和IGBT(绝缘...  (本文共1页) 阅读全文>>

《电子科技》2016年11期
电子科技

采用晶圆传送机器人的晶圆预对准方法

针对传统的晶圆预对准控制系统成本高和体积大的不足,设计了基于晶圆传送机器人的晶圆预对准装置,并提出了高效、高精度的晶圆圆心和...  (本文共4页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2015年03期
电子工业专用设备

200mm(8英寸)晶圆扩产晶圆双雄另一竞技场

晶圆双雄卡位大陆300 mm(12英寸)晶圆建置之余,当地200 mm晶圆扩产竞赛也正如火如荼展开。台积电规划上海松江厂200 mm晶圆月产量...  (本文共1页) 阅读全文>>