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DEM三维微加工能手

本报讯:上海交通大学和北京大学合作开发出的一种微细加工新技术──DEM技术,可以对非  (本文共1页) 阅读全文>>

《中国果业信息》2020年03期
中国果业信息

冷冻对微加工榴莲长期保存的影响

据《Scientia Horticulturae》的一篇研究报道(https://doi.org/10.1016/j.scienta.2019.109170),来自马来西亚布特拉大学农业学院作物科学系...  (本文共2页) 阅读全文>>

《通讯世界》2016年06期
通讯世界

飞秒激光在微加工领域的应用研究

飞秒激光具有超精细三维微加工、高聚焦能力、超强峰值功率、超短脉冲等特点,在其逐渐发展过程中飞秒激光以其自身的这些特点被...  (本文共1页) 阅读全文>>

《光机电信息》1999年11期
光机电信息

微系统制造用的硅微加工新技术

传统的体微加工是指薄片上的各向异性刻蚀。该技术当前已被广泛使用,它的缺点是结构一般相对较大,所以要占据绝大部分的芯片空间。在晶片的背面进行腐蚀,大多是由(1...  (本文共7页) 阅读全文>>

华南理工大学
华南理工大学

复合结构压阻式MEMS压力传感器研究

压阻式压力传感器作为最成功的微加工传感器之一,已经使用了几十年。它们从二十世纪六十年代引入,并随着新型微制造技术的发展,性能显着提高。对于高精度应用方面的传感器,首要关注的性能是传感器输出信号的高灵敏度和线性度。本论文着重于研究能够提高MEMS压阻式压力传感器性能的方法。开发下一代高性能压阻式压力传感器的前提,就是解决与传感器膜片相关的关键设计,即尺寸优化方面的挑战。根据构型设计的结果,讨论了隔膜结构的形式,并进行了尺寸优化。本研究为高性能硅压阻式压力传感器传感膜片的设计和开发提供了基础。基于结构优化,该传感器具有用于微压测量的组合横梁膜和半岛(CBMP)膜片结构,是新型压阻式压力传感器的设计方法和制造过程中的另一个主要发现。通过多种实验分析得出,相比其他传统隔膜类型,所提出的传感器在膜偏转和非线性误差显着降低的同时,灵敏度实现显着提高。对于压阻式压力传感器的温度不稳定性,研究了其输出性能的热效应。通过理论分析了环境温度,残余应...  (本文共131页) 本文目录 | 阅读全文>>

中国科学技术大学
中国科学技术大学

紧凑型准分子激光高精度微加工系统设计

激光微加工技术是指激光辐照在材料表面,引起材料表面形状或者结构发生改变的一项技术,也是目前材料加工领域应用需求增长最快的一项技术。目前常见的激光微加工使用的激光波长主要集中在红外和可见波段。利用激光的热效应实现微加工,虽然有加工速度快、成本低等优点,但存在加工精度低、热效应大、不适用于半导体材料和高聚合物材料等缺点。准分子激光具有波长极短、脉冲宽度窄、单光子能量大、激光能量分布均匀、热效应小等优点,在高精度微加工领域受到广泛的关注。本文设计了紧凑型准分子激光高精度微加工系统,该系统采用处于深紫外波段的193 nm准分子激光进行微加工,克服了深紫外激光传输和整形、聚焦光斑调节和控制、放电干扰环境下整机稳定控制等技术难点,实现了对激光光源、深紫外激光光路传输系统、上位机和加工图案、目标材料这四部分的集成和有效控制。该系统可以得到作用点处光斑大小可调、光斑重叠率可调、加工图案不同的微加工形貌。利用该系统对光学树脂镜片进行加工,探究不同...  (本文共77页) 本文目录 | 阅读全文>>