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航天16所创新之路

航天16所是一个集光、机、电于一体的科研、试、制、生产  (本文共2页) 阅读全文>>

《电子器件》2020年02期
电子器件

基于电容式微加速度计的信号调理电路的设计与标定

为了提高MENS微加速度计的各种性能,完成了基于电容式微加速度计的过载传感器信号调理电路的设计。设计了基于Model 1221电容式微加速度计的信号调理电路,通过静态和动态调试,在频率...  (本文共6页) 阅读全文>>

《强激光与粒子束》2016年06期
强激光与粒子束

工艺误差对电容式微加速度计温度漂移的影响(英文)

利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微加速度计灵敏度恒定的前提下,增大了折叠梁设计宽度,...  (本文共4页) 阅读全文>>

《太赫兹科学与电子信息学报》2015年01期
太赫兹科学与电子信息学报

三明治型微加速度计温度漂移封装胶关系研究

为探索三明治微加速度计温度漂移与封装胶的关系,基于有限元分析方法,结合微加速度计伺服反馈工作原理,对温度漂移与封装胶关系展开了研究。研究表明:封装胶厚度、杨氏模量和与封装胶相连的底部玻璃厚度改变均会影响温度漂移,当封装胶厚度从...  (本文共5页) 阅读全文>>

《传感器与微系统》2013年07期
传感器与微系统

一种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法

电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度。采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的...  (本文共3页) 阅读全文>>

《传感技术学报》2008年02期
传感技术学报

体硅加工的压电式微加速度计的设计

提出并设计了一种采用体硅微制造工艺制造的压电式微加速度计,其中体硅加工的硅质量块由悬臂梁支撑且悬臂梁部分区域沉积ZnO压电薄膜。通过对压电悬...  (本文共4页) 阅读全文>>