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阎鹏勋教授获多项国际先进成果

本报讯:记者郭姜宁报道:年仅38岁的兰州大学等离子体与金属材料研究所所长、教授  (本文共1页) 阅读全文>>

权威出处: 科技日报2001-04-20
《装备机械》2020年04期
装备机械

氮化钛薄膜研究进展

以氮化钛为代表的过渡族金属氮化物具有优良性能,应用前景广阔。对薄膜的制备技术进行了论述,对薄膜的表征问题进行了分析,并从显微硬度、磨损性能、耐腐蚀性能等方面介绍...  (本文共8页) 阅读全文>>

《真空》2012年04期
真空

氮化钛薄膜光学性质的研究进展

介绍了拟合氮化钛薄膜光学常数常用的色散模型,且结合第一性原理计算出的能带结构和态密度给...  (本文共4页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》2012年04期
《真空科学与技术学报》2007年02期
真空科学与技术学报

非平衡磁控溅射氮化钛薄膜及其性能研究

采用非平衡磁控溅射技术,在钛合金(Ti6Al4V)表面沉积氮化钛薄膜。通过改变氮气和氩气分压比(PN/PAr)和基体偏压,制备出不同结构、性能的氮化钛薄膜。采用X射线衍射技术、原子力显微镜、PS-168型电化学测量系统、CSEM球盘摩擦磨损实验机、HXD-1000 knoop显微硬度仪等研究了薄...  (本文共5页) 阅读全文>>

《真空科学与技术学报》2006年05期
真空科学与技术学报

钛合金表面非平衡磁控溅射制备氮化钛薄膜性能研究

本文利用非平衡磁控溅射技术,通过改变薄膜沉积时氮气和氩气分压比(PN/PAr)和靶基距,在Si(100)和钛合金(Ti6A14V)基体上制备了氮化钛薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、HXD~1000显微硬度仪和(CSEM)销盘摩擦磨损实验机对氮化钛薄膜的晶体结构、断面形貌、显微硬...  (本文共4页) 阅读全文>>

《光学学报》2005年09期
光学学报

氮流量对磁控溅射法制备氮化钛薄膜光学性能的影响

采用磁控溅射方法在载波片和Al基片上制备了氮化钛薄膜;通过改变N2流量来改变薄膜中N/Ti原子比例。采用分光光度计和扫描隧道显微镜测试手段对氮化钛薄膜光学性能随N2流量变化的规律进行了研究...  (本文共4页) 阅读全文>>