成都理工大学：打造先进金刚石薄膜实验室

本报讯 2002年下半年，成都理工大学建成了金刚石薄膜实验室。该实验室的建成直接得益于从中国科学院长沙  (本文共1页) 阅读全文>>

超硬材料工程

掺硼金刚石薄膜的制备与研究

采用微波等离子体化学气相沉积技术在单晶硅、钛、钼、铌、钽基体上制备掺硼金刚石薄膜。分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪、四探针电阻率测试仪研究其物相组成、表面形貌、晶体结晶性和电阻率。硼原子代替碳原子进入金刚石晶格中,产生更多的缺陷形核中心...  (本文共5页) 阅读全文>>

超硬材料工程

2020浙江-俄罗斯科技创新合作，打造金刚石薄膜研究中心

"2020浙江-俄罗斯科技创新合作周"开幕式在浙江工业大学屏峰校区举行。现场举办的"浙江...  (本文共1页) 阅读全文>>

真空

金刚石薄膜连续制备的热丝化学气相沉积设备研制

根据目前热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapour Deposition, HFCVD)金刚石薄膜制备设备现状:存在热丝多为水平放置碳化变脆后易发生断裂、不能实现...  (本文共4页) 阅读全文>>

金刚石与磨料磨具工程

硼及其协同掺杂金刚石薄膜的研究

在金刚石中掺入杂质元素会在保留其原有优良性能的基础上获得其他性能,如掺入硼元素可以使金刚石成为P型半导体;协同掺杂其他元素...  (本文共8页) 阅读全文>>

半导体技术

HFCVD金刚石薄膜的热场模拟及实验

基体温度是影响金刚石薄膜生长质量的重要因素之一。基于有限元分析法,通过ANSYS CFX软件对基体温度场进行模拟仿真,得到基体表面温度场的分布,并分别讨论了热丝-基体距离、热丝间距、水冷系数等参数对系统温度场均匀性和一致性的影响。经仿真优...  (本文共6页) 阅读全文>>