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美科学家制成纳米光刻机

本报讯:美国西北大学化学系教授英金等人研制成了纳米光刻机,其刻笔笔尖可以“浸”入  (本文共1页) 阅读全文>>

《电子元器件与信息技术》2020年10期
电子元器件与信息技术

各类型光刻机对准标记设计分析

国内芯片缺口比较大,每年从国外进口的芯片超过石油行业,达到三千亿美金以上,半导体芯片目前是国家重点关注的行...  (本文共2页) 阅读全文>>

《产权导刊》2021年03期
产权导刊

成功的前夜总是漆黑和漫长的——读《光刻巨人:ASML崛起之路》

许多人初次听说光刻机,是从华为、中兴、海康威视等国内科技龙头企业遭遇川普政府"绝命锁喉拳"开始的。也是自那时起,脑补"阿斯麦"——一家与光刻机有关的荷兰企业的相...  (本文共3页) 阅读全文>>

《现代国企研究》2021年Z1期
现代国企研究

成功的前夜总是漆黑和漫长的——读《光刻巨人:ASML崛起之路》

极端经济可以分配稀缺资源,帮助人们定义角色和身份,并赋予他们生命的意义。把仅有的资源发挥至极致,与其说这是经济的韧性,不如说是生...  (本文共3页) 阅读全文>>

《中国集成电路》2021年12期
中国集成电路

光刻机工件台模态分析与试验验证

模态分析是研究光刻机系统振动特性的主要方法,其具体研究方式可分为试验模态分析和有限元模态分析两种方法。基于有限元方法的模态分析,由于在建模过程中引进了一系列人为假设,因而导致了计算结果存在误差...  (本文共6页) 阅读全文>>

《光学学报》2019年12期
光学学报

基于差分进化算法的光刻机匹配方法

提出一种基于差分进化算法和微反射镜阵列(MMA)光源模型的光刻机匹配方法。加入MMA光源模型,利用差分进化算法优化微反射镜光斑分布,以实现光刻机匹配。与通常用于自由照明系统的光刻机匹配方法相比,本方法能直接优化MMA参数,有...  (本文共10页) 阅读全文>>