基于光子晶体微腔的超低质量腔光机械系统研究
随着半导体加工工艺的发展,MEMS器件的尺寸不断缩小进入纳米量级,开启了NEMS器件的研究与应用。作为NEMS器件核心部分的纳米机械谐振器,超低的质量使其具有极高的探测灵敏度而广泛应用在超灵敏测量和传感领域。腔光机械耦合是光场与机械振动之间的耦合,在引力波探测、高精度测量、基态冷却、量子信息处理等领域具有巨大的应用潜力。将纳米机械谐振器融入腔光机械系统中,利用腔光机械耦合探测其机械振动,构成的超低质量腔光机械系统作为质量等传感器在生物化学检测分析等领域具有重要研究价值和广阔应用前景。其中,基于硅基光子晶体微腔的超低质量腔光机械系统具有尺寸小、可片上集成、能够低成本大规模制备等优点,使其成为最有前景的方案之一。本论文设计并实验验证了几种新型基于光子晶体微腔的硅基片上集成超低质量腔光机械系统,开展了一系统理论、设计和实验研究,主要研究成果与创新总结为以下几方面:(1)探索开发了硅基无源光子器件的制备工艺,设计开发了不同精度拼接曝光的
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- 中北大学
高速撞击机械系统在机械工程、特别是在国防科工领域十分常见。由于其机构部件在工作过程中伴随着高速的撞击,很容易出现裂纹故障。这些裂纹故障若不能被即时地发现,可能会在毫无征兆的情况下发生失稳扩展,引发脆性断裂,严重影响系统运行的可靠性,并可能造成安全事故。因此,对此类机械系统微弱的裂纹故障进行精确地诊断,在工程上具有重要意义。但另一方面,此类机械系统的裂纹故障经常出现在系统内部或做高速运动的部件上,要对它们的动态响应进行直接地测试十分困难,这又增加了此类系统裂纹故障诊断的难度。本文针对高速撞击机械系统裂纹故障的诊断问题,以此类系统的典型代表—XXX型高射机枪—为具体的研究对象,对此类系统的建模方法和诊断方法进行了研究,其中前者是为后者服务的。对建模方法的研究包括系统级的建模方法和部件级的建模方法这两个方面。对诊断方法的研究主要聚焦于多分形特征的有效提取和对所提取到的特征的有效利用。本文的具体研究工作如下:(1)基于Modelica语...
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- 装备维修技术
传统机械系统的可靠性分配都是基于独立失效系统模型,但是在实际工程中,机械系统往往会受到共同的载荷、共...
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- 理化检验通讯(物理分册)
在全国亿万军民响应伟大导师毛主席的号召,批判修正主义的大好形势下,云南省机械系统昆明地区理化实验专业会议在省机械局的...
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- 理化检验.物理分册
在全国亿万军民响应伟大导师毛主席的号召,批判修正主义的大好形势下,云南省机械系统昆明地区理化...
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- 理化检验.物理分册
在批林批孔群众运动掀起高潮的大好形势下,为贯彻一机部理化工作会议精神,河北省机械系统于2月21～27日在邢台市举行理化工作会议。参加会议有120个单位共126名代表。会议期...
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