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基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究

可调谐光学滤波器是现代光通信系统和传感器网络的关键器件,利用微机电系统(MEMS)技术的法布里—珀罗(Fabry-Perot)腔可调光学滤波器以其体积小、性能高、成本低等优点成为众多解决方案中有力的竞争者之一。本论文以该类型滤波器为研究对象,从理论与实际工艺制备等方面对其进行了探索。论文阐述了F-P干涉仪的一般理论,利用矩阵法计算了多种的四分之一波堆光学介质薄膜的反射率和反射相移。以此为基础,较为系统地研究了高反射镜面的反射相移及其色散对短腔长的F-P干涉仪光学性能的影响。首次从理论上解释了由高反射镜面的反射相移和色散导致的短腔长的法布里—珀罗干涉仪自由谱域缩短效应,并由实验得到了验证。论文研究将压电驱动精密、稳定的特点同MEMS批量制造优势相结合,自主设计了一种新型的压电驱动F-P腔可调光学滤波器,设计中采用了独特的阻挡块结构将两镜面的平行度保持在一个合适的范围。制备中先后尝试了普通硅片湿法腐蚀工艺、选择性外延工艺和利用SOI  (本文共147页) 本文目录 | 阅读全文>>

《红外与激光工程》2021年02期
红外与激光工程

伯努利滤波器在纯角度跟踪场景中的应用

所获得信息只包含角度信息的传感器被称为纯角度传感器,基于纯角度传感器的目标跟踪被称之为纯角度跟踪(Bearings-only Tracking,BOT)。BOT是目标跟踪领域的重要课题,在被动目标跟踪场景中能够发挥重要作用。伯努利滤波器(Bernoulli Filter,BF)是贝叶斯框架内的最优单目标滤波器,可以求得目标的存在概率和完整的后验概率密度函数...  (本文共9页) 阅读全文>>

《电气技术》2021年02期
电气技术

浅析用于变换器的高阶并网滤波器

本文首先分析了LCL型并网滤波器,给出了相应的参数设计步骤,并通过Matlab仿真得到网侧电感与机侧电感比值对滤波电容容值选取的影响,以及该比值对纹波电流分流的影响,同时分析了有源阻尼策略在LCL型滤波...  (本文共5页) 阅读全文>>

《压电与声光》2019年06期
压电与声光

体声波滤波器功率容量的评估方法

为了解决在体声波(BAW)滤波器的设计中对功率容量指标考虑欠缺的问题,提出了一种BAW滤波器功率容量的评估方法。首先通过BAW滤波器在特定输入功率和环境温度下的声-电磁-热多物理场仿真,得到在自热效应下各单元谐振器的叠层温度平均值;然后将叠层温度平均值作为设计参量引入到Mas...  (本文共5页) 阅读全文>>

《微波学报》2020年01期
微波学报

可重构滤波器研究进展综述

随着通信、雷达等无线电系统向高频、宽带和小型化方向发展,出现了多种形式的可重构微波滤波器。本文综述了各种典型可重构滤波器的发展现状,对比分析了...  (本文共7页) 阅读全文>>

《上海电气技术》2020年03期
上海电气技术

一种生物滤波器的设计

基于鸟类羽毛吸声降噪,保护自身在飞行中免遭电磁波伤害的功能,设计了一种生物滤波器。通过Filter So...  (本文共4页) 阅读全文>>