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结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究

随着科学技术的飞速发展,作为计算机的基础元件——集成电路已由超大规模(VLSI)向甚大规模(ULSI)发展。图形日益微细化,电路尺寸不断缩小,这一方面要求芯片材料的直径不断增大以提高生产率,另一方面对晶体材料的完美性、机械及电特性也提出了更为严格的要求。特别是芯片微区的电学特性及其均匀性已成为决定将来器件性能优劣的关键因素。因此,微区电阻率的测试成为芯片加工之中的重要工序。为此,本文开展了以下研究工作:讨论微区电阻测试的重要性,综述如今已研究出来的各种测试方法的特点;详细分析四探针测量技术的基本原理,重点讨论常规直线四探针法、改进范德堡法和改进Rymaszewski四探针测试方法;研究四探针测试技术中的共性问题,有限元法适用于解决有限尺寸样品的边缘修正问题;完成薄层电阻的测试仪器的系统设计,其中在机械系统设计中,应用无间隙水平移动测试平台,控制被测样品的测试微区的间距,实现了以较高的定位精度进行大型硅片的无图形等间距测量;在薄层  (本文共123页) 本文目录 | 阅读全文>>

《物理学报》2020年05期
物理学报

基于人工表面等离激元探针实现太赫兹波的紧聚焦和场增强

为提高太赫兹近场显微成像技术的分辨率,设计了一款在Teflon探针的尖锥形表面镀上厚度渐变、具有相同占空比的超薄金属银制条带的探针,用于实现探针尖端处人工表面等离激元的激发和太赫兹波的亚波长聚焦...  (本文共9页) 阅读全文>>

《武汉理工大学学报(交通科学与工程版)》2020年02期
武汉理工大学学报(交通科学与工程版)

基于无线探针数据的区间车速估计方法与分析

针对无线探针技术在交通数据检测中的应用问题,基于无线探针中Wi-Fi和蓝牙各自的技术特点与数据特征,制定基于集合Kalman滤波的区间车速估计方法.以卡口数据为基准,评估无线探针数据在区间车速估计中的精...  (本文共7页) 阅读全文>>

《中华临床实验室管理电子杂志》2020年01期
中华临床实验室管理电子杂志

三种人全外显子组捕获探针的性能比较

目的比较不同平台3个全外显子组探针的性能,为以后建立标准流程提供数据支撑。方法提取人EDTA全血或FFPE组织gDNA,通过酶切方法将gDNA片段化,并为每一个样本的片段化后的DNA加上特异序列的接头,利用IDT、Human Exome和MedExomed三种不同的液相探针的方法将目标基因捕获出来,用Illumina的NextSeq 500二代测序仪进行测序;分析测序数据,比较不同捕获探针的靶向覆盖率、捕获特异性、...  (本文共8页) 阅读全文>>

《中国电机工程学报》2020年19期
中国电机工程学报

高频响气动探针研究综述

为了应对高效发电趋势,提高汽轮机和燃气轮机的效率,必须对动叶流场气动性能进行准确的测量和分析。高频响气动探针可以有效的对涡轮机械中三维非定常流场进行时间分辨测量。而探针的研制...  (本文共12页) 阅读全文>>

《包头医学院学报》2015年11期
包头医学院学报

染色体核型分析与八探针间期荧光原位杂交检测急性淋巴细胞白血病儿童细胞遗传学异常

目的:比较染色体核型分析与八探针间期荧光原位杂交(fluorescence in situ hybridization,FISH)两种方法在检测急性淋巴细胞白血病(acute lymphoblastic leukemia,ALL)儿童细胞遗传学异常方面的差异。方法:分...  (本文共2页) 阅读全文>>