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电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究

脉冲偏压电弧离子镀是近年来离子镀技术的一个重要发展方向,但目前制约脉冲偏压电弧离子镀技术发展的一些问题亟待解决。本论文就其中电弧离子镀的等离子体负载特性、脉冲偏压电源及脉冲偏压电源与电弧离子镀等离子体负载间的匹配、脉冲偏压电源的绿色化设计等问题进行了深入研究。这些问题的研究和解决对提高电弧离子镀工艺水平是至关重要的。在电弧离子镀等离子体负载特性研究方面:结合实验研究,并运用等离子体鞘层理论、电工学理论和数值模拟技术,建立了电弧离子镀等离子体负载的宏观电路模型,得出电弧离子镀等离子体负载本质上是由等离子体鞘层引起的容性负载,它在电路中可等效为一只电容和电阻相并联的单元。通过对脉冲偏压下电弧离子镀等离子体鞘层随时间演化过程的研究,得到了电弧离子镀等离子体鞘层随时间演化的解析式,由此得出电弧离子镀等离子体形成稳态鞘层的时间、鞘层的厚度及其变化范围均远小于束线离子注入等离子体等鞘层对应的值,电弧离子镀等离子体鞘层的扩展几乎是实时跟随脉冲  (本文共132页) 本文目录 | 阅读全文>>

大连理工大学
大连理工大学

AIP脉冲偏压电源及等离子体诊断系统的设计与应用研究

电弧离子镀以其离化率高沉积速度快、膜层致密、膜基结合力强、绕镀性好等优点,已发展成为世界范围的一项高新技术产业。为了扩大电弧离子镀的基材范围和用电弧离子镀设备制备出内应力较低的更厚镀层以及其它类型应用的高性能镀层,随着脉冲功率技术的发展,一种脉冲负偏压工艺开始用于电弧离子镀技术。但是由于目前国内用于电弧离子镀的脉冲负偏压电源比较少,并且表征脉冲电源特性的f和D参数大都固定,只有电压可调,为此开发一种各种参数灵活可调的脉冲电源显得尤为重要。另一方面,为了实时了解电弧等离子体反应器内的情况,给出等离子体的各种特性参数,开发一套自动化程度比较高的等离子体诊断系统也势在必行。本论文对这两方面的问题作了研究,主要完成了以下工作:1.本论文提出了主电路部分先逆变后斩波,输出部分为四路IGBT相互串联叠加的设计方案,经过实际使用证明,该方案可以做到在一定范围内灵活调节偏压电源输出的各种参数。2.运用高集成度高速度的单片机,高压高功率放大器,以...  (本文共58页) 本文目录 | 阅读全文>>

《居业》2015年22期
居业

结构力学大小偏压在结构计算中的理解及运用

钢筋混凝土偏压构件是现代建筑应用最为广泛的基础构件,其承载力的计算在结构...  (本文共2页) 阅读全文>>

权威出处: 《居业》2015年22期
《强激光与粒子束》2015年03期
强激光与粒子束

X光二极管脉冲偏压施加技术

为了满足充气腔实验对探测器安全性能的要求,开展了X光二极管的脉冲偏压施加技术的初步研究。在8ps激光装置上,设计了一种新的基于信号发生器...  (本文共4页) 阅读全文>>

《地下空间与工程学报》2012年05期
地下空间与工程学报

多因素引发的公路隧道偏压效应分析

针对鄂西北某高速公路隧道出口段由地形因素与顺层结构面因素共同引发的偏压问题,运用离散元方法进行数值分析。结果表明:多因素偏压下围岩压力分布极不均匀,表现出大小相间的分布形式,该值较地形因素与顺层结构面因素各自引发偏压下围岩压力之和高37%...  (本文共7页) 阅读全文>>

《装甲兵工程学院学报》2009年02期
装甲兵工程学院学报

脉冲偏压离子镀的研究现状

脉冲偏压电弧离子镀的成膜过程远离热力学平衡态,与直流偏压电弧离子镀相比,具有成膜温度低、薄膜质量好和应力低等优点。从大颗粒净化作用、低温沉...  (本文共5页) 阅读全文>>

《金属学报》2004年10期
金属学报

脉冲偏压电弧离子镀沉积温度的计算

针对脉冲偏压电弧离子镀技术,分析了影响基体沉积温度的各项因素及其影响程度.在直流偏压电弧离子镀沉积温度计算模型的基础上,在偏压输出波形为近方波的相对规范形状...  (本文共5页) 阅读全文>>